Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5 #9394083 à vendre en France

ID: 9394083
(1) Coater / (2) Developer system Chucks Hot plates Cool plates Robot Does not include chemical box.
TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de photorésistance Mark 5 est un composant essentiel des procédés de fabrication de semi-conducteurs, ses principales applications étant centrées sur le développement de motifs optiques à pas fin et d'interconnexions très denses. TEL Mark 5 soutient le développement d'images de résistance pour une large gamme de substrats, permettant l'optimisation des images de motifs optiques. Le système se compose de deux parties, l'unité d'exposition et la console de commande. La machine d'exposition se compose d'une table optique avec ses panneaux miroirs intégrés, le boîtier de lampe et le support de lentille, et l'outil de balayage. La table optique fournit une plate-forme plate et stable pour l'actif optique. Les panneaux miroirs sont configurés avec une grande précision de sorte que les faisceaux laser de la source laser réfléchissent complètement à partir du panneau miroirs puis exposent directement le centre du substrat. Le boîtier de la lampe offre un environnement optimal pour le fonctionnement du laser et de la monture de la lentille, tandis que la monture de la lentille assure la position optimale de la lentille nécessaire au processus d'exposition. Le modèle de balayage comprend une source laser, un miroir réfléchissant et un miroir à galvo. La source laser est capable d'émettre une large gamme de longueurs d'onde avec une excellente uniformité de faisceau, luminosité et précision. Le miroir réfléchissant produit une série de lignes de balayage qui permettent d'aligner précisément le substrat, tandis que le miroir à galvo est responsable de l'augmentation de la vitesse de débit. La console de commande sert de moteur à l'équipement photorésistant TOKYO ELECTRON Mark 5. Il est équipé d'un régulateur de température et d'un moniteur de sécurité, nécessaires à la compréhension et au contrôle des paramètres du processus. Il est également équipé d'une interface graphique intégrée et conviviale offrant un accès facile aux paramètres du système, qui peuvent être optimisés pour répondre aux besoins des clients. De plus, la console de commande dispose d'un contrôleur logique programmable (PLC) qui assure le contrôle automatique en boucle fermée de divers paramètres de l'unité. En résumé, la photorésist Mark 5 est un outil polyvalent pour développer des motifs optiques avec une grande précision. Il dispose d'un actif d'exposition sophistiqué et d'une puissante console de contrôle permettant l'optimisation de différents paramètres. Avec ses caractéristiques avancées et ses performances fiables, TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5 est le modèle de choix pour les fabricants de semi-conducteurs d'aujourd'hui.
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