Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #118737 à vendre en France
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Vendu
ID: 118737
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2010
Track system, 8"
Left to right orientation
4 cassette stage, 2 spin
Main controller:
NEC FC-9801BX computer
C/S robot type:
Ceramic pincette
Main robot type:
2 Finger wafer transfer main robot
Indexer:
4 cassette carrier station
25 wafer slots cassette
Spin:
Stream nozzle thinner dispense
Stream nozzle top rinse dispense
Spin servo motor
Digital vacuum sensors and interlocked for spin unit
2010 vintage
As-is, where-is.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment est une solution complète de revêtement photorésist et de développement pour des applications avancées dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système se compose de quatre composants distincts, chacun travaillant ensemble pour assurer le contrôle, la précision et la précision des processus. TEL MARK7 Photoresist Coating Module est le premier composant de l'unité. Grâce à ses deux têtes de revêtement indépendantes et à sa puissante machine de pompage, il permet un enrobage précis, reproductible et uniforme des films de résines minces. Son rouleau dispersant à alimentation précise assure une meilleure performance de revêtement et permet un revêtement à haut poids moléculaire résiste. TEL PMS-003 Intelligent Distribution Unit optimise encore les performances du module de revêtement de marquage 7. Le deuxième composant de l'outil est TOKYO ELECTRON Pattern Generating Module. Ce module utilise un mécanisme de direction de faisceau à écriture directe de pointe, permettant de générer une large gamme de formes et de tailles de motifs. Le module a également la commodité supplémentaire de permettre le transfert de données d'un actif de résistance à un autre, permettant aux utilisateurs de recréer facilement des modèles complexes à travers plusieurs projets. Les troisième et quatrième composants du modèle TOKYO ELECTRON MARK-7 se combinent pour offrir une résistance au développement automatisée. TOKYO ELECTRON MARK7 Resist Development/Inspection Unit fournit une imagerie en temps réel des motifs de résines tels qu'ils sont formés et scannés par un module d'inspection visuelle intégré. Le module d'inspection peut être utilisé pour détecter automatiquement les défauts de motif de résistance, permettant une action corrective immédiate. En outre, le Groupe de la mise au point et de l'inspection des résines est équipé d'un matériel de nettoyage à ultrasons, ce qui améliore la précision et la clarté de l'achèvement des modèles de résines. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist System est un outil puissant pour un contrôle, une précision et une précision supérieures. Ses quatre composants travaillent ensemble pour fournir des solutions de revêtement photorésist et de développement inégalées, permettant des applications semi-conductrices avancées.
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