Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #143980 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment est un système utilisé pour créer des images sur des plaquettes semi-conductrices. Cette unité utilise deux types différents de photorésistes, Positive Tone et Negative Tone, pour revêtir une plaquette de matériaux sensibles à la lumière qui réagissent à différentes longueurs d'onde de la lumière selon le type utilisé. La machine combine deux technologies différentes pour créer une image sur la plaquette : Masques photo et Écriture directe. Les masques photo sont des motifs qui sont imprimés sur une feuille de film. Le film est alors placé entre la source lumineuse et la plaquette, et selon le type de photorésist utilisé, la lumière sera bloquée ou laissée passer à travers le masque pour affecter la photorésist sur la plaquette. Direct Write est un outil piloté par ordinateur qui utilise un faisceau lumineux fin et focalisé pour dessiner des motifs directement sur la plaquette. TEL MARK7 Photoresist Asset se compose de plusieurs composants, dont un module de flux massique (MFM), Loadlock and Orientation Model, Spinner, Robot Type Auto Changeover Equipment (RTCS), Mask Aligner, et Direct Writing System. Le MFM mesure plusieurs paramètres liés au bécher de la résine photosensible, tels que la température, le débit de gaz et la pression, et les ajuste au besoin. Le Loadlock and Orientation Unit place les plaquettes dans les positions désignées dans la filière. Le Spinner tourne la plaquette à grande vitesse pour fournir un revêtement uniforme de résine photosensible à la surface. Le Robot Type Auto Changeover Machine remplace automatiquement les béchers de photorésist usagés par des béchers frais. Le Masque Aligner reçoit les masques de film et les focalise sur la plaquette. Enfin, l'outil d'écriture directe utilise un laser pour tracer des motifs sur la plaquette selon des paramètres prédéterminés. Le photorésist indésirable est ensuite éliminé par un procédé de nettoyage, qui implique généralement un mélange d'acides. L'ensemble du processus ne prend que quelques secondes et est capable de produire des fonctionnalités submicroniques. TOKYO ELECTRON MARK-7 Photoresist Asset est l'un des nombreux systèmes utilisés pour créer des images sur des plaquettes semi-conductrices pour la fabrication de circuits intégrés. Il est très précis, fiable et efficace, et a révolutionné l'industrie des semi-conducteurs.