Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819130 à vendre en France

ID: 293819130
Style Vintage: 2001
Coater / Developer system 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance conçu pour résoudre les largeurs de lignes fines, les espaces étroits et les motifs à haute résolution sur les circuits électroniques. Le système comprend une puissante unité formant faisceau, des systèmes de déflexion et de mesure du faisceau, des optiques laser et des composants optiques, des miroirs à balayage et des systèmes de contrôle de mouvement pour un positionnement précis. En outre, des systèmes avancés d'automatisation et de contrôle des processus assurent un fonctionnement précis et une production fiable pour répondre aux exigences des dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération. La machine de développement de faisceau au sein de TEL MARK7 dispose d'une série de diodes laser de haute puissance pour générer une sortie ajustée et soigneusement façonnée pour le balisage. Le faisceau peut être finement focalisé et atténué en amplitude, en utilisant un réseau de diodes laser à échelle verticale à injection continue réglable et un courant de polarisation de diodes laser réglable. La sortie peut alors être encore réglée avec un outil trinoculaire de lentilles cylindriques, qui sont commandées par un contrôleur de position de type pas à pas et haute performance. Ces composants peuvent précisément former un faisceau bidimentionnel focalisé, avec une largeur de ligne étroite et un emplacement de faisceau très précis. L'optique laser de l'actif est conçue pour optimiser la génération et la déflexion du faisceau. La disposition du chemin optique est optimisée pour un éclairage homogène, une faible distorsion et une large gamme de champs de balayage. Des miroirs haute performance sont utilisés pour augmenter les vitesses de déflexion du faisceau, leur permettant de se déplacer rapidement vers les positions souhaitées. De plus, un miroir coudé de haute précision permet une large gamme de directions de faisceau tout en conservant la précision. Les systèmes de balayage et de commande de mouvement de TOKYO ELECTRON MARK-7 fournissent un balayage précis et à faible bruit du faisceau pour produire les motifs requis. Une série de servomoteurs haute performance sont synchronisés pour un mouvement précis et leurs contrôleurs de mouvement sont capables de fournir un échantillonnage à grande vitesse et un contrôle de résolution fine. Ce modèle est capable de positionner avec précision le faisceau au foyer, à la vitesse et à la force souhaitées sur la résine photosensible. Enfin, les systèmes de contrôle de processus de TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 sont conçus pour permettre un haut degré de fiabilité de production pour répondre aux exigences de la prochaine génération de dispositifs semi-conducteurs. Les processus photorésist et processus contrôlés par le logiciel permettent un fonctionnement sans maintenance. Il est équipé d'un équipement de rétroaction pour prévenir la contamination des photorésistances et dispose également d'un circuit de rétroaction pour assurer la précision de l'arrêt photo. Le système de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 est une unité puissante capable de fournir des images à haute résolution avec des largeurs de lignes étroites, des espaces étroits et un éclairage uniforme. Sa puissante machine à former des faisceaux, ses systèmes de déviation et de mesure des faisceaux, son optique laser, ses miroirs à balayage et ses contrôleurs de mouvement, ainsi que ses systèmes avancés d'automatisation et de contrôle assurent un fonctionnement précis et une production fiable.
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