Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9026272 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance conçu pour des applications de pointe dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système est basé sur la technologie de lithographie FEI (Field Effect Imaging), dans laquelle un mince film de photorésist est formé sur un substrat de silicium et sélectivement exposé à la lumière à l'aide d'une colonne d'électrons. La photorésistance est éclairée par un faisceau étroit d'électrons, tandis que l'intensité du faisceau d'électrons est modulée pour produire une image bidimensionnelle modulée définie par un réticule. La photorésist exposée au faisceau est durcie sélectivement, tandis que la photorésist non exposée est éliminée à l'aide d'un solvant. Ce procédé est répété pour créer les caractéristiques de sous-microns nécessaires à la fabrication du dispositif. TEL MARK7 dispose de fonctionnalités de protection avancées, y compris la capacité de produire des fonctionnalités qui durent jusqu'à 0,1 microns (100 nanomètres). En tant que tel, l'unité est bien adaptée pour la fabrication de fonctionnalités de niveau sous-micron et la production à haut débit. La machine est également capable de capacités de Post Exposition Bakes (PEB) de haute performance, permettant la post-exposition à des températures allant jusqu'à 1000 ° C (1832 ° F). Ceci est particulièrement utile pour les procédés à haute température tels que l'implantation d'aluminium et le dépôt de tungstène. TOKYO ELECTRON MARK-7 propose également un large éventail d'options de processus pour les expositions et les PEB. La fonction de transfert de modulation (MTF) est une caractéristique importante de ces options de processus, qui permet de déterminer avec précision la dose d'exposition au moyen de la capacité de mesure dynamique et de courbes de processus très linéaires. Des étalonnages embarqués sont prévus pour réduire le temps d'installation de l'utilisateur et améliorer le débit. D'autres caractéristiques utiles de TEL MARK-7 comprennent l'autofocus intégré et les pompes de recirculation pour améliorer la répétabilité des processus, ainsi que des effecteurs de fin flexibles prêts pour les robots. Une interface graphique facile à utiliser permet aux utilisateurs de surveiller la performance des outils et de configurer leurs propres paramètres de processus facilement. Une surveillance précise des paramètres du procédé permet d'identifier rapidement et de corriger les dysfonctionnements du procédé, ce qui réduit le risque de contamination du produit et de défaillance du rendement. L'actif est très extensible, avec des options pour ajouter des accessoires en fonction des exigences de débit croissantes, comme des réservoirs d'approvisionnement supplémentaires pour les produits chimiques de procédé. Il offre également des options d'uniformité de température, permettant une température uniforme du substrat sur toute la zone d'exposition. Dans l'ensemble, le modèle TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 est une solution idéale pour la fabrication de sous-microns et la production à haut débit. Il est capable de créer rapidement et précisément des fonctionnalités précises jusqu'à 0,1 microns, tandis que ses fonctionnalités intégrées et ses contrôles conviviaux réduisent le temps de configuration et améliorent la répétabilité.