Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098203 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de photorésistance Mark 7 est une technologie de mesure de pointe utilisée dans divers procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système combine la technologie avancée de photolithographie et de gravure avec la chimie photorésiste pionnière pour obtenir un procédé de gravure sèche très précis et précis de moins de cent nanomètres. TEL MARK7 utilise une conception de film photorésist unique qui présente une résistance supérieure aux chimiographies de gravure sèche très agressives, tout en offrant une résolution aussi élevée que 0,1 um sur des substrats délicats. Le matériau photorésist peut être accordé pour traiter différents processus de gravure sèche, tels que la gravure ionique réactive (RIE), la gravure ionique et la gravure plasma, selon les exigences d'application. En outre, la machine peut être configurée pour une variété de revêtements de photorésist, y compris des photorésists à tonalité positive et négative, ainsi que des photorésists amplifiés chimiquement qui permettent des résolutions encore plus élevées. TOKYO ELECTRON MARK-7 litho-etch est conçu pour offrir une précision et une répétabilité supérieures des structures gravées à moins de cent nanomètres. L'actif dispose d'une technologie propriétaire de balayage laser permettant un alignement précis de la plaquette, en éliminant les désalignements de masque d'un coût prohibitif dus à la gravure et au post-traitement. Le TOKYO ELECTRON Mark 7 offre également une meilleure précision de profil et une élimination rapide des sous-produits de gravure sèche, ce qui permet d'obtenir des temps de retournement plus rapides et des rendements améliorés. En outre, le modèle a été conçu et testé pour répondre à toutes les exigences environnementales applicables, telles que la directive RoHS de l'UE et le règlement REACH. Enfin, l'équipement TEL/TOKYO TEL MARK-7 offre un progiciel complet pour le traitement des photorésistances. Les outils logiciels avancés, tels que les outils de réduction automatique et de correction optique de proximité (OPC), facilitent le calcul de haute précision et l'OPC précis pour des exigences de conception strictes. Une technologie intégrée sans masque améliore encore les capacités de processus du système TEL/TOKYO ELECTRON MARK7, permettant une intégration rapide et économique des dispositifs.