Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098210 à vendre en France
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ID: 9098210
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
(1) Coater / (2) Developers system, 8"
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance de pointe développé par TEL qui a été conçu pour améliorer la précision et la capacité de résistance à l'imagerie. Il s'agit d'une plate-forme multi-tâches qui peut supporter deux processus photorésistants indépendants et quatre ensembles de portiques aériens indépendants, permettant de multiples expositions simultanées d'une même plaque de quartz ou de plusieurs plaques dans les formats optique et numérique, tout en fournissant la capacité de traiter des substrats difficiles. TEL MARK7 comporte deux composants principaux : une chambre de lithographie et un système d'exposition hors axe. La chambre de lithographie est une salle blanche et est équipée de commandes de pointe pour maximiser le débit et la précision. Il comprend une unité à ultra-haut vide (UHV) qui peut créer un vide à l'intérieur de la chambre, permettant d'exposer la résine sans aucun air. La chambre comporte également une source de plasma réactif, ce qui contribue à améliorer l'adhérence de la résine sur le substrat avant exposition. La machine d'exposition est un outil à haute résolution capable d'imager avec précision les caractéristiques de la plaquette avec une extrême précision. Il présente une source d'éclairage hors axe qui permet une focalisation précise des motifs sur le substrat de la plaquette, quelle que soit l'orientation ou l'épaisseur du substrat. Cet atout hors axe est particulièrement important pour l'imagerie de structures tridimensionnelles. Le modèle d'exposition possède également des fonctions de contrôle avancées qui aident à s'assurer que le processus d'exposition est efficace et cohérent, un contrôle moteur à grande vitesse pour déplacer les masques avec précision, et des mesures automatiques de distorsion, de taille et de placement pour assurer une exposition précise. En outre, l'équipement dispose d'une interface utilisateur intuitive qui fournit des capacités de diagnostic, de suivi des processus et de détection des pannes. TOKYO ELECTRON MARK-7 est un système innovant qui offre une capacité et des performances d'imagerie supérieures, ainsi qu'un rendement, un débit et un temps de fonctionnement améliorés. Il contribue également à réduire les coûts et le temps de commercialisation en raison de son haut débit et de sa flexibilité. Cette machine photorésist est un outil idéal pour fabriquer de l'électronique haut de gamme et fournit la fiabilité et les performances nécessaires pour suivre les tendances et la demande de l'industrie.
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