Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9119206 à vendre en France
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ID: 9119206
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Track system, 6"
Left to right for 8"
Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette)
Configuration:
Main body
IF
Chemical cabinet 1
Chemical cabinet 2
THC
PC rack
Main controller: NEC FC-9801F
C/S Robot type: vacuum arm, ceramic pincette
Main robot type: 3 pincette arm
Indexer: laser diode mapping sensor
COAT:
(4) Resist nozzles / bellows pumps
(1) Gallon resist bottle / thinner local supply (canister)
EBR nozzle / back rinse nozzle
Local drain (1st SUS 10L tank/drain pump)
DEV:
Nozzle type: E2
Rinse nozzle / back rinse nozzle
Local supply / facility drain
WEE:
TEL Standard
UL-200T-L1 UV Light source
AD:
TEL Standard
Local supply
Currently warehoused
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance utilisé dans le processus de photolithographie pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il élimine les déchets de lumière générés au cours du processus par la technologie de la lumière laser, tout en contrôlant les conditions optiques d'une surface de substrat. TEL MARK7 utilise une longueur d'onde laser de 633nm ou 635nm pour la source lumineuse laser, en combinaison avec une fente réglable et une optique d'oscillation. Le système contient un ensemble réflecteur et filtre optique, qui peut être ajusté en fonction de l'intensité et de l'inclinaison du faisceau laser. Il contient également un obturateur de haute précision qui est capable de contrôler avec précision la durée d'exposition du substrat. TOKYO ELECTRON MARK-7 dispose également d'une unité intégrée de distribution de photorésist qui peut distribuer du matériau photorésist à des vitesses constantes sans brouillard ni goutte à goutte. La machine est conçue pour minimiser la contamination de l'environnement et les interférences de fond. Il est capable d'obtenir des résultats de surface de haute précision en fixant plusieurs paramètres tels que l'angle de fente et la puissance laser. L'outil a une résolution spatiale extrêmement précise de 1 μ m, ce qui le rend capable de produire des résultats de haute qualité sur une variété de surfaces de substrat. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 est un atout extrêmement efficace avec un contrôle de haute précision, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est très fiable et bénéficie d'une longue durée de vie grâce à sa construction robuste. Le modèle peut également être facilement configuré et est extrêmement convivial. Dans l'ensemble, MARK-7 est un équipement de photorésistance avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de fournir des résultats très précis grâce à sa technologie laser-lumière et sa fente réglable et son optique d'oscillation. Il est très fiable et convivial, ce qui en fait un choix idéal pour la production de substrats de qualité extrême.
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