Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9214147 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance utilisé dans l'étape de photolithographie de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système est composé d'une unité de filage photorésist, d'une station d'exposition multi-points et d'une unité de protection thermique automatique. L'unité de filage de la photorésist est utilisée pour tourner des plaquettes revêtues de photorésist à des vitesses précisément contrôlées afin d'obtenir des vitesses de rotation uniformes sur les plaquettes. La station d'exposition multi-points utilise des faisceaux laser multi-points pour exposer simultanément les plaquettes revêtues de photorésist sans avoir besoin des techniques classiques d'alignement des masques, permettant d'augmenter les niveaux de débit. De plus, la station d'exposition est équipée d'une unité d'alignement qui utilise à la fois des lasers et des caméras pour focaliser avec précision et aligner le motif des images d'exposition sur les plaquettes. Enfin, l'unité de protection thermique automatique est une machine de contrôle thermique intégrée qui est utilisée pour éviter la surchauffe des plaquettes pendant les processus de rotation et d'exposition de résines. En fonctionnement, TEL MARK7 commence par l'unité de filage de la résine photosensible. Après que la résine photosensible a été filée sur les plaquettes, le poste d'exposition multi-points éclaire les plaquettes afin de graver les caractéristiques souhaitées dans la résine. L'outil d'alignement du poste d'exposition est calibré pour aligner rapidement et avec précision les masques d'exposition sur chaque plaquette, ce qui permet des vitesses de traitement rapides. Enfin, l'unité de protection thermique automatique surveille la température des plaquettes afin d'assurer la protection thermique maximale de la résine photosensible tout au long du processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON MARK-7 est un actif de photolithographie puissant et fiable qui permet aux fabricants de semi-conducteurs de traiter rapidement et avec précision les plaquettes, tout en assurant le plus haut niveau de protection thermique de la photorésist pendant le processus de fabrication. Avec ses mécanismes d'exposition laser avancés et son modèle d'alignement de précision, MARK7 est une solution idéale pour répondre aux exigences de haut débit et de précision de la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs.