Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216078 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance de pointe utilisé en lithographie lors de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système intègre un outil de photorésistance à résolution de pointe et une optique d'imagerie avancée pour offrir des performances et une résolution d'imagerie supérieures. TEL MARK7 est idéal pour le traitement des applications de lithographie de niveau submicronique. La machine photorésist comprend un processeur photorésist dédié, qui est utilisé pour appliquer un film photorésist uniforme et précis sur la surface de la plaquette. Il comprend également un outil d'optique d'imagerie de précision, qui est utilisé pour visualiser la photorésist sur la surface de la plaquette en résolution nanométrique. L'optique d'imagerie comprend un objectif haute résolution, qui fournit une qualité d'image supérieure limitée par diffraction sur la surface de la plaquette. Il comprend également un atout robotique de portique, qui est utilisé pour positionner avec précision l'optique et fournir un balayage automatisé de la surface de la plaquette. Le modèle photorésist est piloté par ordinateur et permet aux utilisateurs de programmer les paramètres d'imagerie pour obtenir un motif de plaquette désiré. L'équipement est compatible avec diverses techniques populaires d'exposition à la lithographie, y compris les marches optiques, le revêtement de spin/plongée et les expositions aux inondations. Il permet également aux utilisateurs de traiter des plaquettes de tailles variables, telles que le format de substrat grand ou petit. Le système de photorésistance TOKYO ELECTRON MARK-7 est configuré avec une unité de jet de gaz avancée, qui est utilisée pour transférer le matériau de photorésist à la plaquette pendant le traitement. Cette machine à jet de gaz permet de maintenir une couverture de résistance uniforme sur la surface de la plaquette pendant le traitement. De plus, l'outil comprend un module de revêtement antireflet, qui permet de réduire la réflexion de la lumière de la surface de la plaquette lors de l'imagerie. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 photorésist actif est équipé d'un modèle de régulation de température, qui permet aux utilisateurs de réguler la température de l'optique lithographique pendant l'imagerie. Il comprend également un module de nettoyage, qui est utilisé pour nettoyer le matériau résiste de la surface de la plaquette après imagerie. Dans l'ensemble, MARK-7 est un équipement de photorésistance avancé, capable de satisfaire les exigences des utilisateurs en matière d'imagerie lithographique. Il fournit une haute résolution d'imagerie et une large gamme de fonctionnalités avancées pour permettre aux utilisateurs de produire efficacement des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.
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