Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239616 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance développé par TEL (TOKYO ELECTRON). Il s'agit d'un processeur de résistance-développement utilisé dans les procédés de photolithographie et de balisage pour la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs. Ce système de traitement de résines est basé sur une conception modulaire et se compose d'un manteau de résines, d'un développeur, d'un stripper et d'un sécheur/four. Le revêtement résineux est utilisé pour l'application de photorésist sur le substrat. Il permet un contrôle précis du poids et de l'épaisseur du revêtement, et facilite également l'application de revêtements antireflets sur le substrat. Le révélateur est utilisé pour retirer sélectivement le matériau résineux des régions non-image sur le substrat. Il utilise la technologie des aérosols haute pression pour permettre l'élimination rapide de la résine photosensible pour créer des motifs complexes sur le substrat. Le décapant est une unité distincte utilisée pour l'élimination de toute résine photosensible résiduelle. Il est capable d'enlever jusqu'à 99,5 % de films de résistance épais sur le substrat. Le sécheur/four est utilisé pour chauffer le substrat et éliminer les solvants et autres contaminants restants. Il peut traiter jusqu'à quatre substrats jusqu'à 200mm de diamètre en même temps. Il a une capacité de chauffage allant jusqu'à 250 ° C et utilise une conception d'air pour minimiser la distorsion du substrat. TEL MARK7 contient une variété de capteurs pour s'assurer que le substrat est chauffé et traité avec précision. TOKYO ELECTRON MARK-7 dispose également d'une interface graphique intuitive et conviviale, ainsi que d'une variété de recettes personnalisées et de protocoles de processus. Il fournit une gamme de fonctions de contrôle statistique des processus (RCP) pour s'assurer que le substrat est traité avec la plus grande précision et la plus grande répétabilité. La machine est adaptée au nettoyage, à l'étanchéité et au revêtement antireflet de plusieurs matériaux, dont le quartz, le silicium, l'aluminium et le cuivre. MARK-7 est un outil de développement de résistance efficace et fiable créé pour le processus de photolithographie. Avec sa conception modulaire et une large gamme de capacités de processus, TOKYO ELECTRON Mark 7 offre une plate-forme idéale pour la fabrication de circuits intégrés.