Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239700 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photorésistance conçu pour la lithographie de faisceaux d'électrons, développé pour aider à la fabrication de circuits intégrés, et d'autres composants microélectroniques. Le système comprend une unité de déflexion de faisceau spécialisée pour exposer avec précision les substrats en délivrant des électrons de haute énergie dans des zones limitées. Ceci fournit un profil de tension plus localisé et plus intense que les techniques d'exposition traditionnelles, permettant un meilleur contrôle des motifs. TEL MARK7 contient une source d'ions avancée avec des bobines de focalisation, ce qui assure que le faisceau est concentré dans une petite taille de tache, réduisant le risque d'électrons parasites et étalant la tension effective sur une petite zone. En outre, la machine utilise un déflecteur électronique spécialement conçu pour permettre un balayage en pleine surface avec une définition améliorée des caractéristiques et un contrôle des dépôts. Combinés, ces composants permettent un traitement rapide du faisceau d'électrons avec une haute résolution de caractéristiques aussi faible que 0,1 microns. De plus, TOKYO ELECTRON MARK-7 dispose d'une source de plasma programmable et d'un contrôle de la température, ce qui permet la livraison précise de photorésist activé par la chaleur ou d'autres matériaux EPIL dans la zone d'intérêt. Ceci assure une couverture uniforme du substrat même lorsque le faisceau d'électrons doit appliquer de l'énergie sur des expositions multiples. Enfin, l'outil TEL Mark 7 est équipé d'un actif de microscope optique intégré pour inspecter le substrat exposé. Cela élimine les angles morts et garantit la précision du traitement. De plus, un modèle d'alignement automatique des étages est utilisé pour s'assurer que le faisceau est toujours désaxé et tenu à l'écart de la partie inspectée, ce qui le rend plus sûr à utiliser. Avec toutes ces caractéristiques, MARK-7 est un équipement de photorésistance leader de l'industrie pour la lithographie de faisceaux d'électrons, offrant à la fois la précision et la sécurité pour le traitement des composants microélectroniques.