Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239701 à vendre en France
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ID: 9239701
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un système de photolithographie de haute technologie conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. TEL MARK7 est capable de modeler et d'exposer une variété de photorésistes à des résolutions extrêmement précises et est utilisé dans plusieurs étapes avancées de la fabrication de semi-conducteurs. Au centre de la machine TOKYO ELECTRON MARK-7 se trouve l'outil ALTUS Exposure, qui fournit une sélection de lasers et de lampes halogènes pour exposer des photorésistes de différents types et sensibilités. Une gamme étendue de capacités d'alignement et d'inspection à haute résolution est également incluse. Le logiciel en boucle ouverte de l'actif ALTUS Exposure permet de créer jusqu'à 256 couches de différents types de photorésistances. Le modèle peut précisément définir et ajuster les limites d'exposition en fonction du type de photorésist utilisé. Grâce à cette capacité, le temps d'exposition peut être modifié et optimisé pour chaque couche. La Résolution ALTUS Modelant la Technologie garantit le placement exact de chaque trait, en fournissant la plus haute résolution possible. L'équipement Mark 7 est également en mesure d'effectuer l'imagerie ECRIS (Enhanced Critical Resolution Imaging System) en utilisant BEAMER (imagerie haute résolution au moyen d'un faisceau d'électrons). Les fonctions avancées de détection des défauts dans l'unité MARK-7 sont fournies par le TELECISAS (TELETron™ Machine d'inspection et de simulation avancées). Les fonctionnalités de TELECISAS comprennent des algorithmes de détection progressive des défauts de pointe et une base de données complète avec des informations de contrôle de la qualité. En plus des capacités d'exposition de haute précision d'outil de 7 MARQUES, ses données et capacités de direction de matériel sont également impressionnantes. Toutes les informations essentielles sont basées sur les données, ce qui facilite le contrôle du processus de production. L'information est surveillée et recueillie grâce à l'extraction et à l'analyse intelligentes de données. L'actif de gestion des matériaux couvre tous les aspects du processus, des matières premières aux produits finis, et permet un contrôle détaillé des stocks et des commandes. TEL Mark 7 est une solution de photolithographie très avancée, capable de fournir une haute résolution, précision et contrôle de qualité. Il est conçu pour faciliter l'introduction de procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs tout en limitant les dépenses et en améliorant la productivité.
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