Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9250083 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de photolithographie très avancé et polyvalent, couramment utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de réaliser des couches complexes de métal, de polymères et/ou de matériaux cristallins, afin de réaliser des composants électroniques et d'autres micro-dispositifs complexes. Le système se compose d'une série de composants contenus dans une grande chambre environnementale, qui est logée dans une installation de salle blanche. Le procédé commence par une mince couche de matériau photorésist qui est appliquée sur le substrat du dispositif. Le substrat est alors exposé à des impulsions lumineuses ultraviolettes extrêmes (EUV), ce qui déclenche une réaction au sein de la résine photosensible. Au fur et à mesure de son exposition, des liaisons chimiques se forment entre les molécules, formant des formes uniques aux motifs du faisceau EUV. Cette réaction chimique provoque le durcissement de la résine photosensible, fournissant un masque pour l'étape suivante du procédé. La photorésist de durcissement est alors exposée à une gravure chimique qui élimine l'une quelconque des parties exposées du substrat. Les produits chimiques de gravure sont soit gazeux, soit liquides et sont déposés sur le substrat. Le procédé de gravure est répété sur l'ensemble du substrat jusqu'à ce que les formes souhaitées aient été gravées dans le matériau. Cette gravure chimique est très précise et peut être surveillée et régulée avec une grande précision. Notamment, les procédés de gravure permettent la formation de lignes de circuits complexes et exactes, essentielles pour des micro-dispositifs complexes. Ensuite, la résine photosensible restante est éliminée avec un asher plasma, de sorte qu'un autre dépôt de matière peut être appliqué. Les matériaux utilisés dans cette étape sont généralement des polymères, qui peuvent être appliqués avec une grande précision grâce à leurs fonctions avancées de contrôle des procédés. L'unité permet également une optimisation de la sélection des matériaux, permettant l'optimisation des propriétés électroniques des matériaux, telles que la conductivité. L'étape finale du procédé TEL MARK7 est le dépôt d'une couche métallique, telle que l'aluminium ou le cuivre. Le procédé de dépôt des métaux est similaire au procédé de dépôt des polymères mais consiste à utiliser un outil sous vide spécial, connu sous le nom de machine de dépôt des pulvérisateurs. Cet outil est conçu pour fournir un procédé efficace de vide pour le dépôt métallique sur le substrat. Notamment, l'outil de dépôt des pulvérisateurs peut être très personnalisé et contrôlé, permettant le développement de contacts métalliques complexes utilisés pour les interconnexions. Contrairement aux autres procédés, TOKYO ELECTRON MARK-7 est capable de traiter plusieurs couches de métal, permettant la formation d'interconnexions plus profondes ou la construction de structures multicouches. MARK7 est un excellent atout pour la production d'électronique complexe et de micro-dispositifs. Il combine plusieurs techniques, telles que la photolithographie, le dépôt de polymères et le dépôt de métaux, en un seul procédé sans soudure. Ce contrôle étroit sur l'ensemble du processus garantit que la sortie des systèmes est de très haute qualité, permettant la construction de dispositifs complexes aux dimensions exactes.