Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9399016 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil compact et hautement automatisé utilisé pour créer des motifs photorésistants de haute précision et de grand volume. Le procédé commence par l'application de résine photosensible sur le substrat. Ceci est réalisé par un enrobeur spin-on horizontal, assurant une couverture uniforme de la résine photosensible sur la surface de la plaquette. La résine photosensible appliquée est ensuite cuite par une plaque chaude pour la fixer solidement sur le substrat. Le système photorésist éclaire alors le substrat avec un photomasque contenant le motif désiré. Un mécanisme d'éclairage spécial assure une irradiation optimale du masque et simplifie le processus. Un illuminateur VUV intégré conçu pour une stabilité maximale et une précision d'image optimale représente une partie essentielle de l'appareil. Après avoir exposé le substrat, la machine lave la résine photosensible indésirable à l'aide d'un type particulier de solvant. Ceci se fait habituellement à l'aide d'un bain d'hydrocarbures vaporisé, procédé connu sous le nom de RIE (gravure ionique réactive). On développe alors le substrat exposé et lavé. Toute résine photosensible restante est éliminée à l'aide de fluides de développement propriétaires. L'outil est calibré pour assurer un développement uniforme de la plaquette et éliminer la formation de résidus. Une fois la plaquette développée, elle est transférée au module de séchage. Ce module utilise un procédé de séchage actif qui permet une répartition régulière et cohérente de la résistance photo sur la surface. L'étape de séchage est nécessaire pour préserver le motif et obtenir des rendements élevés. TEL MARK7 photorésist est un excellent outil pour créer des motifs de photorésistance nanométrique de haute précision et à haut rendement. Il est fiable et rentable, et son utilisation de la technologie de pointe en fait l'outil standard de nombreuses entreprises de semi-conducteurs.