Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 3C #9290536 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 3C est un équipement de photorésistance fabriqué par TEL qui est utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système est à la fois un applicateur de film et un développeur et est utilisé pour générer des motifs photorésistants sur les plaquettes semi-conductrices. L'unité est équipée d'un stepper qui est utilisé pour guider les plaquettes à travers le processus. Le pas est équipé d'un mandrin d'alignement pour assurer un positionnement précis des plaquettes pendant le processus et est configuré pour transférer les informations d'alignement du réticule. Les temps d'exposition peuvent varier au besoin et un miroir d'analyse peut être utilisé sur certains modèles pour augmenter la productivité. La machine dispose d'un outil intégré de distribution de gaz qui peut être adapté à la résistance chimique spécifique utilisée. Il est capable de fournir des gaz inertes tels que de l'azote ou de l'hexafluorure de soufre pour l'élimination des résistances, ainsi que de l'oxygène pour le nettoyage du plasma. L'actif peut également être utilisé pour le traitement d'autres substrats photomasques, tels que le verre, le quartz et le métal. Le modèle a un bras rotatif RC intégré qui est utilisé pour appliquer la résine photosensible sur la surface de la plaquette. Le bras est capable d'obtenir une couverture uniforme de la plaquette recouverte de photorésist tout en évitant le frottement et la mise en commun du matériau résineux. Il est compatible avec une large gamme de photorésistes, avec un réglage motorisé et une micro-pompe doseuse de précision. L'équipement dispose également d'un contrôleur de commande et de surveillance de wafer. Le contrôleur est capable d'effectuer des opérations semi-automatiques et de stocker des recettes de processus. Le contrôleur de la base de données peut également mesurer et afficher les doses d'exposition. TEL Mark 8 3C photorésist système offre un outil avancé et fiable pour haute précision, haut débit photomasque structurant qui permet la fabrication stable et rentable de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil précieux dans le processus de production de photomasques.