Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226205 à vendre en France
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ID: 9226205
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1989
Developer, 6"
1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II est un équipement de photorésistance développé par la société japonaise d'électronique TEL. Ce système est une technologie semi-automatisée d'imagerie plein champ conçue pour fournir le plus haut degré de répétabilité et de flexibilité de processus disponible sur le marché de la résine photosensible. C'est l'un des systèmes photorésistants les plus complets disponibles et offre une grande variété de fonctions et de fonctionnalités avancées. Les composants principaux de l'unité sont l'alignement, l'étage et la station de résistance. L'alignement automatise le processus d'alignement des plaquettes et réduit le temps nécessaire au positionnement des échantillons. Il augmente également le débit en éliminant les erreurs qui peuvent se produire lors des processus d'alignement manuel. L'étage intègre un positionneur à trois axes pour un débit maximum et un positionnement précis avec une résolution nanométrique. Le poste de résistance est une machine entièrement automatisée capable de distribuer plusieurs résistances simultanément, ce qui se traduit par un débit plus élevé et des coûts réduits. L'outil TEL MARK II comprend également des fonctions de scanner et de métrologie qui permettent à l'utilisateur d'obtenir des mesures quantitatives détaillées de nombreux paramètres, y compris l'épaisseur du film, le type de matériau et la topographie. L'actif dispose d'un modèle de manutention des plaquettes qui comprend un support universel capable de supporter non seulement les plaquettes traditionnelles mais aussi une large gamme d'autres substrats, y compris les plaquettes MEMS, les plaquettes collées et les motifs de couches minces. TOKYO ELECTRON MARK II fournit également des contrôles avancés qui permettent à l'utilisateur de surveiller, analyser et modifier le processus photorésist. Le contrôle avancé des processus, comme le mode de puissance simple-faible de l'équipement, permet à l'utilisateur d'économiser de l'énergie en exécutant un processus aux niveaux de puissance les plus bas possibles. En outre, le système offre une fonctionnalité de surveillance avancée, qui permet à l'utilisateur de visualiser les données en temps réel à partir des différentes étapes du processus et d'ajuster les paramètres du processus à la volée. MARK II garantit des résultats de haute précision avec de faibles niveaux de variation, réduisant les coûts et le temps. Ces caractéristiques, combinées à sa flexibilité, font de l'unité un outil fiable et efficace pour le traitement des résines photosensibles.
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