Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149603 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour être utilisé dans le processus lithographique de fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il offre un contrôle accru des caractéristiques de résistance et des capacités de planarisation de surface avancées. TEL Mark V est capable de traiter avec précision et précision les conceptions de résistance haute densité et les caractéristiques délicates. Le système utilise une unité en boucle fermée comprenant des étages chauffés et refroidis, de multiples sources de gaz et d'autres composants pour créer un environnement propre, contrôlé par la température et exempt de contaminants. Il est capable de traiter à des niveaux très élevés de précision et de répétabilité de processus, y compris l'uniformité du mouvement, le contrôle de la température et de l'humidité et la planarisation de surface. La machine est optimisée pour obtenir un revêtement et une gravure photorésist de haute précision. Il comprend une chambre de mélange de résines, une tête de revêtement de spin, un outil de décapage de résines, et une plaque chauffante qui aide à l'élimination de résines. Les autres caractéristiques comprennent une chambre de séchage en résine, une chambre de gravure et un refroidisseur pour le refroidissement post-processus des appareils. TOKYO ELECTRON MARK-V a été conçu avec une interface utilisateur intégrée qui permet aux ingénieurs des appareils d'ajuster et de modifier facilement les paramètres pour répondre aux exigences lithographiques spécifiques. Il permet des changements rapides de paramètres tels que la vitesse et la température, la pression, les temps d'immersion et les niveaux de puissance, pour permettre des processus de gravure et de revêtement de précision. En outre, MARK-V est équipé d'un outil sophistiqué de surveillance des processus qui fournit des commentaires en temps réel sur l'état des processus et des défauts, et assure un contrôle serré des processus pour la fabrication d'appareils reproductibles. Ce modèle ajuste également automatiquement les réglages pour assurer une performance optimale de l'équipement. En résumé, TEL MARK-V photoresist system est un outil avancé pour la fabrication d'appareils, fournissant un haut niveau de précision et de répétabilité des processus. Son interface utilisateur intégrée et son unité de suivi des processus embarqués lui permettent d'être adapté à toute une gamme de besoins en lithographie, tandis que ses nombreuses fonctionnalités supportent des procédés avancés tels que la gravure et le revêtement de résistance. TOKYO ELECTRON Mark V fournit une machine fiable et efficace pour le traitement des photorésistances.