Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293591398 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance qui utilise une source lumineuse pour créer des motifs de circuit sur une surface semi-conductrice. Le système est généralement utilisé dans les futurs processus de fabrication et de R-D. La source lumineuse de l'unité consiste en un laser à balayage, qui pousse sa sortie sur la surface d'une plaquette semi-conductrice qui a été revêtue de résine photosensible. Le laser utilise différents angles de déflexion pour produire différents motifs sur la plaquette. La photorésist est un type de matériau radiosensible, qui absorbe la lumière laser et est formulé pour réagir avec l'intensité de la lumière laser. En faisant varier les angles de déflexion, on peut réaliser des motifs de circuit à plus haute résolution avec des caractéristiques plus petites. L'optique laser est d'un agencement lentille-parabolique à lame parallèle. TEL Mark V dispose également de plusieurs types d'optique intégrée, y compris une lentille télécentrique pour une commande de précision supérieure. Le laser a également une focale étendue pour une meilleure illumination et peut être ajusté pour affiner le foyer automatiquement. TOKYO ELECTRON MARK-V dispose également d'une variété de fonctions d'alignement différentes telles qu'une machine d'alignement de faisceau laser (LBAS) pour programmer des relevés d'alignement et une variété de méthodes de post-exposition pour affiner le processus. TOKYO ELECTRON Mark V dispose également d'une couche exclusive Mask Data Interface (MDI) pour un échange de données plus rapide entre les différentes couches logicielles. Ceci améliore le débit du dispositif en permettant l'envoi aller et retour de données. L'outil comprend également une salle blanche compatible postes d'exposition/aligner, qui peut être configuré dans différentes topologies pour répondre à différentes exigences de débit. L'actif est capable de travailler avec des dispositifs d'exposition monobloc, ou l'exposition sur plusieurs plaquettes en utilisant des techniques de synchronisation. Les principaux avantages de Mark V est son débit élevé, les petites tailles de fonctionnalités, et sa capacité à gérer le transfert de données complexes. Il est idéal pour la fabrication de dispositifs avancés et les processus de recherche et de développement.