Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293657043 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance de pointe utilisé dans les procédés de lithographie dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs. Le système comprend un scanner, une unité optique, un contrôleur, un dispositif à vide et une chambre de procédé. Le scanner TEL Mark V est capable de fournir une résolution de sous-microns sur les substrats jusqu'à 200mm de taille. Il est équipé d'un laser à dioxyde de carbone pour une imagerie plus rapide et une plus grande précision. La machine optique comprend des miroirs, des lentilles et des ouvertures pour la manipulation du faisceau laser. Le contrôleur est chargé d'exécuter des mouvements programmables à l'intérieur de la chambre et peut être utilisé pour commander la tête de scanner et l'optique ou l'alimentation du substrat dans la chambre de traitement. Le dispositif à vide fournit l'environnement de basse pression nécessaire au fonctionnement de l'outil. Il est capable de maintenir une plage de pression de 1-3Pascals à l'intérieur de la chambre de traitement. La chambre de procédé est utilisée pour le procédé de lithographie où le faisceau laser est dirigé sur le substrat et la résine photosensible est appliquée. L'actif est capable de réguler les températures générées dans la chambre et est équipé d'un milieu de refroidissement. Ainsi, la résine photosensible est répartie uniformément sur tout le substrat et évite toute combustion lors de l'exposition. TOKYO ELECTRON MARK-V est un modèle de photorésist efficace adapté pour les procédés de lithographie. Il fournit la résolution et la précision standard de l'industrie lorsqu'il est utilisé dans la production de circuits intégrés semi-conducteurs, et bénéficie d'un contrôle optique avancé, de la température et de la pression.