Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293793330 à vendre en France
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ID: 293793330
Style Vintage: 1993
(1) Coater / (2) Developer system.
EMO Function
DEV Spin chuck
Coat spin chuck
IND Unit
ARM Carrier station
BU Unit
(3) Pins col
I/F Unit
Cooling plate temperature: 23 ± 0.2°C
Refrigerator
Utility check:
N2: 4.5 kgf/cm²
VAC: -73.3 kPa
CDA: 3.5 kgf/cm²
DIW: 1.0 kgf/cm²
Chill water: 3.0 kgf/cm²
AD Inner chamber pressure: ≤ 347 kPa
Power supply: 100/200 V ± 10%
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance de pointe utilisé pour la fabrication de photomasques semi-conducteurs à haute résolution. Des systèmes photorésistants sont utilisés pour transférer des motifs sur des plaquettes pour une utilisation dans la fabrication de circuits intégrés (IC). TEL Mark V est un système fiable et performant qui permet une précision pour les appareils les plus exigeants du marché. TOKYO ELECTRON MARK-V est construit avec une qualité de faisceau élevé de 1,2 nm et dispose d'une unité de contrôle Super Haute Lisibilité (SHR) pour assurer la précision des processus sur toute la zone du motif du disque. Il dispose d'un écran tactile LCD 15 "personnalisable pour maintenir une résolution exceptionnelle des images. La machine contrôle l'épaisseur de couche et le taux de gravure isotrope grâce à une suite complète de logiciels et de processus automatisés. Il s'agit notamment de l'outil d'interception des sources de plasma et des moyens de surveillance en ligne, qui facilitent la sécurité et la productivité. TEL MARK-V élimine également la non-uniformité des taux de gravure acide par le biais du PVT intelligent (Photo Lithography Temperature) avec contrôle du taux de gravure simulé par plasma. Ce modèle ajuste les températures des plaquettes en fonction des variations de température et d'humidité, tout en contrôlant le niveau d'énergie plasmatique pendant la gravure. Le Smart PVT est réputé pour produire moins de rugosité de bord de motif que les systèmes conventionnels, permettant une plus grande fidélité de motif. En ce qui concerne les économies de temps et de coûts, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V est équipé du scanner pas-à-pas Super Speed (SSSR) et du développeur de résistances intégré. Ces deux mécanismes automatisés réduisent le temps et le coût des travaux, tels que le traitement des films et l'alignement des masques, respectivement. En outre, l'équipement est livré avec un démoulage photomasque très fiable pour aider à minimiser le travail manuel, allégeant ainsi le stress de la maintenance fréquente du matériel. En conclusion, MARK-V est un système de photorésistance sophistiqué pour la fabrication d'IC haut de gamme. L'unité dispose de caractéristiques qui garantissent la précision, telles que sa qualité de poutre élevée, Smart PVT, SSSR et les fonctions intégrées de Coater-Developer Résist. Grâce à ces capacités, les utilisateurs peuvent bénéficier d'une plus grande précision de la machine et des économies de coûts.
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