Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033679 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement photorésistant de pointe pour la production de semi-conducteurs. Il est conçu pour traiter une large gamme de matériaux photorésistants, y compris des formulations de résines amplifiées chimiquement et non-amplifiées chimiquement. Le système TEL Mark V a été optimisé pour offrir une résolution supérieure, des performances de bord/largeur supérieures et une précision de positionnement supérieure. Il est également conçu pour permettre un débit plus élevé par substrat, ce qui se traduit par des économies de coûts plus importantes. TOKYO ELECTRON MARK-V utilise la technologie spectroscopique TEL Helios FT-IR pour obtenir les plus hautes performances, lui permettant de manipuler une large gamme d'assemblages et de substrats optiques. Son contrôle à basse température permet des performances de gravure supérieures et une meilleure uniformité sur l'ensemble du substrat. La machine fournit également un outil intégré de traçabilité micro-optique pour l'optimisation de l'imagerie et de la rugosité des bords de ligne, ainsi que pour l'optimisation en temps réel de la dose, de l'uniformité de dose et de la vitesse de gravure. L'actif est équipé d'une grande variété de fonctionnalités avancées, ce qui le rend idéal pour une production à haut rendement. Il dispose d'un modèle de multiplexage à grande vitesse pour le chargement et le déchargement des substrats, ainsi que pour le balisage et l'alignement. Il dispose également d'un logiciel modulaire pour contrôler les paramètres non photo-spécifiques restants tels que l'épaisseur du film et l'indice de réfraction. En raison de sa modularité, l'équipement permet d'ajouter des capacités supplémentaires pour offrir encore plus de débit et d'économies. Le système TEL MARK-V offre également une unité d'alignement automatique des champs d'écriture qui permet une plus grande précision des champs et une réduction des temps d'arrêt de la machine. Son contrôle intégré des processus e-Beam/Stepper permet une connectivité et une optimisation exceptionnelles entre les outils Stepper et e-Beam. La machine dispose également d'une superposition e-Beam intégrée et d'un outil aqueux propre pour une gravure plus rapide et répétable. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V a été conçu pour supporter les processus photorésistants les plus performants. Sa technologie robuste, son large éventail de caractéristiques et son excellente connectivité en font un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.