Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9222912 à vendre en France
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Vendu
ID: 9222912
Style Vintage: 1999
Systems
Utility:
Drive pressure:
Unit drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Ejector drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Resist pump drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Vacuum pressure:
Spinner: -550 mm Hg (-73.3 kpa)
WEE: -400 mm Hg (-53.3 kpa)
C/S, I/F(V,Vz): -400 mm Hg (-53.3 kpa)
N2 Pressure:
N2 Primary pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Developer solution canister tank pressure: 1.0 kgf/ cm² (98 kpa)
HMDS Supply tank pressure: 0.5 kgf / cm² (49 kpa)
Thinner supply tank pressure: 0.5 kgf / cm² (49 kpa)
Resist bottle pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
Adhesion unit bubbler tank pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
E2 Nozzle blow pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
DI Water and developer solution:
Primary pressure: 1.0 kgf / cm² (98 kpa)
Secondary pressure: 1.0 kgf / cm² (98 kpa)
Chilly water:
Primary pressure: 1.5 kgf / cm² (147.1 kpa)
Exhaust pressure:
Coater cup: 5 mm H2O (0.05 Pa)
Developer cup: 10 mm H2O (0.1 Pa)
Scrubber cup: 10 mm H2O (0.1 Pa)
WEE Lamp house: 11∼13 mm H2O (0.11∼0.13Pa)
Temperature: 20~27° C Variance to be less than 0.5° C
Humidity: 28~55% RH Variance to be less than 3% RH
Power supply: 100/200 V, 50/60 Hz, Single phase, ±10%
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance. Il s'agit d'un dispositif utilisé pour graver des motifs sur un substrat (généralement des plaquettes de silicium), et est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il fonctionne en exposant un film sensible à la lumière (photorésist) à la lumière. Les zones exposées sont ensuite développées et traitées chimiquement. Il en résulte un motif gravé sur le substrat. TEL Mark V est construit avec précision. Il comporte un étage avancé de translation à quatre axes, permettant un contrôle précis de la position du substrat. Il dispose d'un système optique haute résolution avec grossissement réglable 4X à 10X, permettant une résolution de motif et un alignement précis. L'unité optique peut être équipée de diverses sources d'éclairage, y compris des sources LED à haut rendement énergétique, ainsi que des sources lumineuses NIR et ultraviolettes. Il est également équipé d'une fonction 'Auto Scan' pour réduire le temps d'exposition et éliminer le risque d'erreurs de détection dues au désalignement. TOKYO ELECTRON MARK-V est une machine facile à utiliser et fiable. Il a une interface utilisateur intuitive, et une gamme de fonctionnalités qui le rendent facile à utiliser pour les utilisateurs novices et expérimentés. Il peut être chargé avec une gamme de matériaux de résines photosensibles, ce qui permet une large gamme de possibilités de fixation. Il dispose également d'une option « Voisin le plus proche », permettant des expositions multiples d'une même couche de résine photosensible, avec chaque exposition optimisée pour le substrat particulier. Cette fonctionnalité améliore la résolution du motif et augmente le rendement. MARK-V dispose également d'un écran tactile intégré pour fournir aux utilisateurs des informations sur le fonctionnement de l'outil. Cela comprend des informations sur les paramètres du processus, ainsi que des avertissements et des alarmes. Cela garantit que les utilisateurs peuvent surveiller le processus en temps réel, et ajuster les paramètres en conséquence. TOKYO ELECTRON Mark V est un actif photorésistant avancé, facile à utiliser, qui fournit un dosage précis à haut débit. Idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, il est suffisamment fiable et convivial pour être utilisé par des utilisateurs expérimentés et novices.
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