Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9225994 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9225994
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
(2) Developer system, 6" 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance utilisé dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs et autres dispositifs microélectroniques. Ce système est conçu pour fournir une précision de laminage précise, un revêtement de haute précision et un contrôle de l'exposition. L'unité de photorésistance comprend une machine de commande à microprocesseur, un outil de vision et un réseau de sources programmables d'exposition aux ultraviolets (UV) et optiques. Le microprocesseur contrôle les processus de laminage et de revêtement uniformes, les paramètres des actifs de vision et d'exposition et permet à l'utilisateur d'effectuer des ajustements réguliers et ponctuels. Le modèle dispose d'une large gamme d'options pour les sources d'exposition UV et optique pour convenir au processus de production. Il s'agit notamment des sources d'exposition laser de 532nm et 1064nm, des sources d'exposition compatibles Excimer, ArF et KrF et des sources d'exposition multiples supportées par une plateforme. L'équipement de vision du système photorésist TEL Mark V assure un contrôle précis de l'homogénéité et de l'homogénéité globale du film. De plus, l'unité utilise un pas ultra fin pour obtenir un niveau élevé de précision de substrat et de couche. La photorésist TOKYO ELECTRON MARK-V peut traiter une variété de substrats, y compris le silicium, le verre et le métal, ainsi que les applications de pas de faisceau avec une taille minimale de 5um. Il est également conçu pour faciliter un large éventail de processus de production, y compris la gravure, l'impression de motifs et le transfert de couches. L'outil est capable de fournir un certain nombre de caractéristiques conçues pour rendre la production plus efficace. Ceux-ci comprennent le traitement en ligne pour la production continue, les débits élevés, l'optimisation des motifs et les capacités d'adaptation des substrats. Pour permettre un fonctionnement précis et maintenir les niveaux de cohérence les plus élevés, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V photoresist actif comprend des fonctions de contrôle de processus telles que la montre de piste, l'étalonnage automatique ainsi qu'un modèle de visualisation et de surveillance. Cet équipement offre également le réglage d'alarme, l'enregistrement de données, l'analyse statistique et le support de protocoles de communication multiples. Globalement, le système de photorésistance MARK-V est une unité de photorésistance avancée capable de fournir des performances de revêtement, de laminage et d'exposition fiables, reproductibles et de haute précision. L'outil de vision intégré de la machine ainsi que son large éventail de sources d'exposition et ses fonctions intelligentes de contrôle des processus le rendent adapté à des environnements de production nécessitant des résultats précis et fiables.
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