Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226212 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment est un système intégré semi-automatisé qui peut être utilisé pour les processus de lithographie. Il est conçu pour distribuer avec précision et exposer précisément des photorésist pour produire des motifs à haute résolution sur des plaquettes pour la fabrication de dispositifs microélectroniques à plus grande échelle. L'unité est composée de plusieurs composants clés : une console principale, un ensemble de tête de détecteur, une unité d'exposition, et une Wafer Alignment Machine (WAS). La console principale est la pièce maîtresse de l'outil, fournissant à la fois une interface pour contrôler l'actif et pour afficher l'état et les résultats des opérations. La console principale abrite également le modèle de distribution de fluide, qui est utilisé pour distribuer avec précision des photorésist et d'autres liquides dans l'équipement pendant les processus de lithographie. L'ensemble de la tête de détection est le mécanisme qui déplace la plaquette vers et loin de l'unité d'exposition, ainsi que de s'assurer que la plaquette est correctement alignée avec l'optique de l'unité d'exposition. L'unité d'exposition est chargée de projeter les motifs sur la plaquette à l'aide d'un laser programmable, tandis que le WAS est le mécanisme par lequel le détecteur détecte les désalignements entre la résine photosensible, le laser et la plaquette elle-même, permettant d'appliquer des corrections. Le système utilise également une unité de rétroaction qui, avec le système WAS, permet de s'assurer que les opérations d'exposition et de distribution sont effectuées avec la plus grande précision. La machine à contre-réaction est constituée de plusieurs détecteurs qui sont placés à proximité de la buse de délivrance de la résine photosensible, du laser et de la plaquette. Ces détecteurs mesurent la résistivité de la résine photosensible, ainsi que le temps d'exposition réel et le courant laser. Cette rétroaction permet de garantir l'exactitude et la qualité des processus de lithographie. De plus, TEL Mark V utilise plusieurs dispositifs de sécurité, comme un outil d'arrêt d'urgence, un système de sécurité d'interception et un moyen de détection de présence par caméra pour s'assurer que la plaquette est dans la bonne position avant le début du processus d'exposition. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON MARK-V Photoresist Model est un outil puissant pour produire des motifs précis sur des plaquettes avec une grande précision. Avec son équipement de distribution précis, son laser programmable, son système de rétroaction et ses caractéristiques de sécurité, l'unité est capable de fournir des résultats fiables et cohérents pour la fabrication de dispositifs microélectroniques à plus grande échelle.