Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226368 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance conçu pour la gravure de précision et la fabrication lithographique de semi-conducteurs et produits connexes. Le système utilise une combinaison d'exposition à la lumière, de gravure chimique et de cuisson après exposition pour produire des motifs de masque précis avec une grande fidélité. L'unité utilise un magasin 14 couches de photorésist de type immersion (ITP) appliqué sur le substrat de la plaquette. Les photorésistes sont des matériaux organiques ou inorganiques transparents qui peuvent être exposés à une source lumineuse pour former une couche chimiquement active. Lorsqu'une couche active est exposée, les zones exposées deviennent solubles dans un révélateur qui peut alors être éliminé sélectivement. Le résultat de ce procédé de gravure est un motif dans la photorésist qui se traduit par le motif désiré. TEL Mark V dispose d'une chambre d'exposition anormalement grande, combinée à une machine optique haute résolution et des mécanismes d'actionnement haute résolution, pour fournir une exposition précise de l'ITP. Ces caractéristiques ainsi que le grossissement précis et la mesure avec une résolution de traitement du signal numérique de 16 bits fournissent un outil de lithographie inégalé avec une résolution inférieure à 0,68 microns. TOKYO ELECTRON MARK-V dispose de plusieurs fonctions et procédés de cuisson post-exposition pour garantir un motif de haute qualité et haute fidélité. Cela comprend un post-bake et un post-bake multi-étapes avec la capacité supplémentaire de contrôler le rejet de produits chimiques et la propreté de l'air dans l'environnement pour un contrôle maximal. Un module de mesure haute résolution est également disponible pour MARK-V qui prédit la taille et la longueur d'onde attendues des données de la chambre d'exposition. L'actif peut s'intégrer à un dispositif de mesure pour obtenir des mesures très précises de la taille et des données de la puce finie. Le modèle photorésist de Mark V offre à l'utilisateur une qualité de motif optimale tout en offrant un maximum d'efficacité et d'économies. La conception inventive, les capacités de gravure précises et le motif de haute fidélité de TOKYO ELECTRON Mark V en font un choix idéal pour les applications avancées de lithographie.