Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226375 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment est un outil de lithographie conçu pour la gravure précise et uniforme de photorésist sur des plaquettes de silicium. Ce système est le résultat de nombreuses années de développement et d'innovation du procédé de dépôt et de gravure photorésist. Il est conçu pour être un outil fiable et efficace pour la fabrication de circuits intégrés sur des substrats extrêmement souterrains. TEL Mark V est utilisé par les fabricants de semi-conducteurs pour le dépôt et la gravure de couches de photorésist sur une surface de substrat avant que le processus de fabrication puisse commencer. Ce procédé, appelé photolithographie, est nécessaire pour le transfert de motifs de circuits vers la plaquette de silicium de manière précise et précise. La technologie de pointe de TOKYO ELECTRON MARK-V est équipée d'un contrôle de résolution 2D, d'une uniformité stable, d'une propreté et d'un choix de développeurs aqueux et secs de haute performance. Tous les outils sont conçus pour accueillir des substrats jusqu'à 300 mm de diamètre et fournir des résultats optimaux avec une flexibilité de planification allant jusqu'à quatre réservoirs. Mark V dispose d'une double chambre, ou conception à double armoire qui offre des niveaux de propreté plus élevés que les outils de photolithographie standard. La chambre propre est équipée d'une couche d'isolement qui scelle l'atmosphère, éliminant presque toute contamination de l'environnement. MARK-V utilise également un logiciel spécial conçu pour créer des motifs d'image complexes avec une cohérence et une précision totales. L'unité est capable de traiter une large gamme de matériaux photorésistants, y compris le spin-on et le revêtement de pulvérisation. TEL MARK-V a été optimisé pour réduire la contamination des particules et améliorer l'uniformité des épaisseurs de film de résistance dans une plage de 1 μ m à 2 μ m. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V fournit une liste impressionnante d'avantages de performance. Il est capable de résister avec précision au contrôle de l'épaisseur du film, à la haute résolution, au temps de traitement rapide, à des niveaux de propreté de 99,5 %. confinement et faible émission de particules, ainsi qu'une excellente uniformité. En outre, la machine offre un mouillage souple à deux couleurs et utilise diverses techniques d'automatisation, ce qui la rend facile à configurer, programmer et fonctionner. TOKYO ELECTRON Mark V est un outil très robuste et fiable, soutenu par des programmes de service complets de son fabricant.