Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226377 à vendre en France
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ID: 9226377
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Track system, 6"
1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance conçu pour la nanofabrication avancée et la fabrication de dispositifs. Le système est basé sur une configuration de balayage sophistiquée dans laquelle un seul laser est utilisé pour transférer une gamme de motifs sur différents substrats. Le faisceau laser est dirigé à travers des lentilles, des miroirs dichroïques et d'autres éléments qui permettent une écriture et une gravure de grande surface avec une résolution de moins de 100 nm. L'unité de balayage sophistiquée et les compensateurs in situ précisément calibrés permettent des temps de transfert de motifs rapides et une grande précision. La photorésistance TEL Mark V est équipée de fonctions de contrôle avancées pour fournir des caractéristiques d'ultra haute résolution. Son outil optique rapide et précis avec la technologie de stabilisation d'image fonctionne de concert avec un contrôleur à microprocesseur avancé pour piloter directement le moteur pas à pas pour la position du faisceau. Ces fonctions de contrôle offrent une vitesse et une précision améliorées par rapport aux systèmes classiques. TOKYO ELECTRON MARK-V offre une excellente sélectivité de film, offrant un grossissement élevé et une qualité d'image supérieure pour la résolution des fonctionnalités submicroniques. Le modèle optique offre une haute résolution même lors des processus de gravure les plus difficiles. Sa taille et sa puissance variables permettent de contrôler rigoureusement les temps d'exposition et de gravure, ce qui permet de créer des structures complexes. TOKYO ELECTRON Mark V comprend également d'importantes fonctionnalités avancées pour le contrôle total de l'équipement. Son architecture ouverte permet l'intégration avec les systèmes existants, fournissant un contrôle flexible de tous les paramètres de processus. Le système comprend des outils logiciels intégrés pour simuler les motifs de gravure. Il a également la capacité d'ajuster automatiquement l'exposition en fonction des changements dans la vitesse de balayage ou la surface du substrat. TEL MARK-V est équipé de dispositifs de sécurité intégrés comprenant une chambre de balayage fermée, un film de protection et des systèmes de purge de l'azote. Son fonctionnement automatisé et facile à utiliser le rend également adapté à une utilisation dans des environnements de recherche et développement à faible coût. Avec ses fonctionnalités avancées, Mark V offre la flexibilité et la précision requises pour la production de caractéristiques nano-échelle haute résolution.
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