Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226378 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement photorésist de haute précision qui est utilisé pour graver des motifs complexes sur un substrat semi-conducteur. C'est un système photorésist à longueur d'onde unique qui offre un développement de film haute précision et à grande vitesse. TEL Mark V utilise une unité optique contrôlée par ordinateur (CCOS) et un outil d'exposition en phase gazeuse (GEPT) pour simplifier le processus de gravure et de gravure. TOKYO ELECTRON MARK-V offre une excellente résolution et uniformité des caractéristiques ainsi qu'un développement de film à haute vitesse. Il est équipé d'une machine avancée d'alignement de motifs (PAS) offrant une correction de position d'exposition en temps réel, permettant de positionner des motifs sur un substrat avec une grande précision. En outre, l'outil de développement est rapide et précis, avec un haut débit motorisé à base de laser résister à l'alignement et l'exposition uniforme. Mark V offre une grande variété de films oxydés exposés et de trous de soufflage réduits, permettant une plus grande flexibilité de conception et des performances de circuit améliorées en utilisant des lignes extrêmement fines et des caractéristiques étroitement formées. Il offre également un avantage avancé de réduction de la rugosité de bord de ligne (LER) pour des résultats de fixation supérieurs. Grâce à ses mécanismes de contrôle des précurseurs chimiques et à l'affinement des paramètres de résistance, TEL MARK-V garantit des performances élevées avec un pas serré et de petites tailles de caractéristiques. Grâce à sa gamme de fonctionnalités avancées, le modèle MARK-V est parfait pour des applications de résistance très complexes et complexes. Il est idéal pour les applications nécessitant des solutions de gravure rapides, précises et précises, comme dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices et de puces mémoire. Son développement de film à grande vitesse, ses capacités optimales d'alignement des motifs et son équipement avancé de réduction LER en font un choix fiable et efficace lorsque la précision est requise.