Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9234099 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9234099
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
Track system, 6"
Direction flow: Left to right
Indexer:
(3) Cassette stages (Uni-cassette)
Laser diode mapping sensor
Configuration: Main body
Main controller: FC-9801X
C/S Robot type: Steel blade
Main robot type: (2) Pincette arms
Chemical purge
Developer:
Nozzle type: E2 Nozzle
Rinse nozzle
Facility drain
No Chemical cabinet
No THC
Missing parts:
Temperature controller
Monitor
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance développé par TEL Ltd. Ce système est conçu pour offrir des procédés de lithographie améliorés aux fabricants de semi-conducteurs. Il utilise un axe de combinaison pas à pas et scanner, ce qui aide à transférer avec précision et fiabilité un motif de circuit sur un substrat de grande surface. TEL Mark V est équipé d'un environnement intégré de traitement du signal numérique (DSP), qui simplifie le contrôle des processus, réduit le besoin d'intervention manuelle et simplifie le développement des recettes. Il dispose également d'une unité d'inspection des semi-conducteurs LEAP qui fournit une imagerie haute résolution avec plusieurs longueurs d'onde de la lumière à des fins de test. La machine LEAP peut également mesurer les caractéristiques du procédé et des mesures correctives peuvent alors être prises si nécessaire. De plus, l'outil comprend un module de tension superficielle et une couche supérieure ultrathermique. Ceci permet la formation d'une surface super lisse, éliminant les perturbations qui pourraient être causées par la variation de surface. Ceci assure un dépôt uniforme, et empêche la création de tranchées et d'arêtes subtiles qui peuvent provoquer des distorsions dans le processus de transfert. En outre, il est équipé d'un actif de lithographie sans masque qui présente une exposition aux UV avec plusieurs couvertures laser. Cela permet un processus d'exposition plus rapide et plus précis, avec un minimum de variations de largeur de ligne. Il dispose également d'un laser de grande puissance qui réduit la perte de ligne et augmente la précision de recouvrement. Dans l'ensemble, le modèle TOKYO ELECTRON MARK-V offre un procédé de lithographie fiable et sophistiqué pour les exigences avancées de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour une utilisation facile, avec une interface utilisateur intuitive, ainsi que, sa haute précision, et le chevauchement variable de divers paramètres de processus en fait l'un des systèmes les plus polyvalents disponibles.
Il n'y a pas encore de critiques