Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250080 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance de pointe utilisé pour diverses applications de microfabrication. La photorésist est un matériau sensible à la lumière qui est utilisé dans de nombreux types de procédés, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, les systèmes microélectromécaniques (MEMS) et la production de panneaux plats (FPD). TEL Mark V facilite l'enduction et la mise en forme précises des matériaux photorésistants. Ce système se compose d'une chambre de revêtement série CT17, d'une unité de fixation avancée et d'une gamme de périphériques. La série CT17 dispose d'une couverture haute précision, haute vitesse, avec une uniformité maximale de ± 0,2 %. Cette chambre de revêtement peut être utilisée pour différents types de matériaux photorésistants, y compris la photorésist à film sec, les solutions et les lubrifiants. Il dispose également d'un rideau d'air de recirculation intégré qui aide à atteindre un haut degré d'uniformité et des temps d'exposition plus longs, ce qui le rend idéal pour des applications photolithographiques avancées. La machine à modeler avancée sur TOKYO ELECTRON MARK-V dispose de deux irradiateurs distincts, chacun avec une puissance d'exposition maximale de 10x. Cela permet une plus grande gamme d'angles d'exposition et des rapports d'aspect plus élevés, essentiels pour les processus de microfabrication modernes. L'outil de balisage dispose également d'un atout d'alignement intégré pour assurer la précision du placement et de l'alignement de la résine photosensible sur le substrat. Les périphériques de TOKYO ELECTRON Mark V comprennent un nettoyant à ultrasons, un processeur de rotation de plaque chaude et un contrôleur de piste d'exposition. Le nettoyant à ultrasons est utilisé pour nettoyer les substrats revêtus de photorésist avant gravure ou exposition. Le processeur de rotation de la plaque chaude permet un chauffage précisément contrôlé du substrat, ce qui est essentiel pour un revêtement uniforme de la résine photosensible. Le contrôleur de piste d'exposition fournit des processus d'exposition pilotés par pas ou servo, assurant des mouvements précis et un débit maximal. En conclusion, TEL MARK-V fournit un modèle photorésist fiable et efficace pour les applications de microfabrication. En raison de sa grande précision et de sa grande vitesse de couverture et de ses capacités de fixation précises, cet équipement est adapté à une large gamme de procédés photolithographiques. Associé à sa gamme de périphériques, Mark V offre une solution rentable et efficace pour une variété de processus de microfabrication.