Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9290142 à vendre en France

L'équipement de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un outil de traitement de plaquettes haute performance et haute précision conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et les applications connexes de traitement. Il est doté d'un design unique de qualité automobile qui le rend très fiable et robuste. TEL Mark V est réputé pour son contrôle précis à la fois de la température et des paramètres de dépôt du revêtement photorésist, permettant un dépôt lisse avec des résultats cohérents et de grande qualité. TOKYO ELECTRON MARK-V peut être utilisé pour divers procédés, tels que le revêtement spin-on-glass, la lithographie, et la gravure. Le système se compose de plusieurs composants : un module de gravure humide, une unité de dosage, une source de photorésist, une unité de contact électrique, une station thermique et une unité de commande. Le module de gravure humide comprend une chambre de procédé, qui est équipée d'un boîtier de plaquettes à double module, ainsi qu'un bain d'eau chauffé pour la pré-gravure des plaquettes. Ceci assure une gravure humide uniforme et un excellent contrôle de la température. L'unité de dosage fournit à la source de résine photosensible la quantité correcte de matériau, permettant des revêtements de plaquettes précis et cohérents. La source de photorésist est une unité sous vide qui peut générer des dépôts de photorésist rapides, précis et uniformes sur les plaquettes. L'unité de contact électrique est chargée de permettre les connexions électriques des outils à l'extérieur de la chambre de procédé, de sorte qu'elle puisse être surveillée à tout moment pour un contrôle précis du processus. La station thermique régule la température de la chambre de procédé, assurant des résultats précis et reproductibles. Enfin, l'unité de contrôle permet une automatisation complète du processus, permettant aux utilisateurs d'observer et de contrôler le processus à distance de l'unité de contrôle. MARK-V est une machine avancée qui permet un traitement rapide et efficace des plaquettes. Il est conçu pour fonctionner de manière fiable et cohérente et fournit une excellente résolution, précision, répétabilité et résultats. Cela en fait un excellent choix pour toute organisation à la recherche d'un outil photorésist fiable et efficace pour leurs besoins de traitement.