Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384736 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de photorésistance Mark V est une technologie de pointe utilisée pour la fabrication de puces de circuit intégré ultra haute densité. Il permet le dépôt et la gravure de couches de résines sur les couches de circuits minces. Le système photorésist est spécialement conçu pour les plaquettes et microprocesseurs de bord d'attaque. C'est une machine haute performance qui combine une unité optique sophistiquée avec une machine de contrôle de processus avancée. TEL Mark V se compose de plusieurs composants, dont un aligneur submicronique, un module de distribution de photorésist, un module de pré-bande chimique, un module de stripper plasma et un module de bande de résiste. L'aligneur est utilisé pour aligner précisément la plaquette avec l'unité de distribution de la résine photosensible, tandis que le module de distribution de la résine photosensible est utilisé pour distribuer du matériau photosensible sur la plaquette. Le module pré-bande de chimie est utilisé pour la préparation préliminaire de plaquettes en préparation pour la photographie de résiste. Le module de décapage plasma permet la gravure plasma de certaines couches selon les besoins. Enfin, le module de bande de résine permet l'élimination des couches de résine après développement. L'alignement submicronique de TOKYO ELECTRON MARK-V permet d'aligner les caractéristiques de la plaquette avec l'outil d'imagerie avec précision submicronique. L'outil est équipé d'une variété de méthodes d'alignement, y compris l'alignement de balayage, l'alignement lisse et l'alignement de mise au point. Le module de distribution de la résine photosensible de MARK-V est constitué d'un moniteur d'extrémité automatique, qui est utilisé pour suivre l'état d'exposition de la résine photosensible pendant le dépôt. Il contient également un capteur de distribution thermoconducteur, qui est utilisé pour le positionnement précis de la résine photosensible. L'actif de contrôle de procédé avancé TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V consiste en un contrôleur de température, qui est utilisé pour contrôler la température de la plaquette et du matériau photorésist afin de contrôler précisément la qualité de l'image. Le modèle dispose également d'un outil automatisé d'analyse de substrat, qui permet de déterminer rapidement les caractéristiques des plaquettes clés. L'équipement de photorésistance Mark V fournit une fabrication extrêmement précise et performante de puces de circuit ultra haute densité. Il permet un alignement et un dépôt rapides et précis de matériaux photorésistants, permettant la production de dispositifs complexes aux normes les plus élevées possibles. Le système avancé de contrôle des procédés permet une surveillance minutieuse de la température et une analyse du substrat, ce qui augmente encore la précision des résultats.