Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9396047 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V est un équipement de photorésistance conçu pour une productivité élevée et un contrôle de processus supérieur. Il offre une large gamme de capacités tout en permettant un fonctionnement rapide, efficace et précis. Le système utilise une technique d'imagerie sélective spectrale pour fournir des images à haute résolution avec une densité élevée d'éléments de motifs en une seule exposition. L'unité est composée d'une machine d'exposition à la résine, d'un outil de traitement de la résine, d'un actif de transfert de la plaquette et d'une section d'étage de la plaquette. Le modèle d'exposition à la résistance comprend une plaque d'imagerie numérique amovible, une source d'exposition multicanaux, un équipement d'obturation et un système de commande sophistiqué. L'unité de traitement résiste offre un développement haute résolution et des fonctionnalités d'imagerie ultraviolette avancées. La machine de transfert de plaquettes permet un transfert rapide de plaquettes d'une station à l'autre. La section de l'étage de la plaquette est équipée d'un étage de précision pour assurer un positionnement précis et reproductible de la plaquette tout au long du cycle de traitement. TEL Mark V offre une résolution d'image supérieure et une flexibilité de source d'exposition supérieure ainsi que des capacités d'alignement avancées avec une variété de types de plaquettes. L'outil dispose d'un alignement automatisé des plaquettes qui élimine l'alignement manuel et assure un enregistrement précis des masques d'exposition. L'actif d'exposition possède également un certain nombre de sources d'exposition différentes, y compris des sources laser et optiques. En outre, le modèle dispose de capacités de commande avancées qui permettent la fabrication efficace d'une large gamme de circuits intégrés semi-conducteurs. En plus de ses capacités de haute précision, l'équipement dispose également d'une détection de défaut sophistiquée, qui peut détecter et diagnostiquer tout défaut ou irrégularité pouvant affecter les performances de traitement. TOKYO ELECTRON MARK-V est également équipé d'un système d'enregistrement des données qui surveille et stocke les températures, les pressions et d'autres données pour le contrôle et l'analyse de la qualité. L'unité peut également être interfacée avec divers équipements périphériques, tels que des générateurs de motifs et des systèmes de manutention. Globalement, Mark V offre une excellente performance et fiabilité dans la production de produits semi-conducteurs et photorésistants complexes. En tirant parti de ses capacités d'imagerie et de contrôle avancées, la machine permet un contrôle de processus supérieur et donne d'excellents résultats avec des rendements de production élevés. L'outil est conçu pour s'assurer que toutes les parties du processus de photorésistance sont manipulées avec précision et efficacité, ce qui réduit considérablement le temps et les coûts associés à la fabrication et à la conception des puces.
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