Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643487 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de photorésistance Mark V8 est un système de lithographie de pointe conçu par TEL. Cette unité est conçue et fabriquée pour être utilisée dans des procédés de fabrication de semi-conducteurs sur des plaquettes de silicium. La machine utilise un logiciel propriétaire de contrôle automatisé des processus qui fournit aux utilisateurs une large gamme de fonctions ainsi qu'une surveillance étroite des paramètres du processus. Ceci est aidé par des enregistreurs de données intégrés qui peuvent être consultés à distance. Cela permet aux utilisateurs de vérifier la qualité et d'assurer la cohérence du processus d'une plaquette à l'autre. L'outil utilise un appareil photo de 200mm à la pointe de la technologie, offrant un champ d'imagerie important pouvant atteindre 16 pouces. Cette caméra prend des photos extrêmement haute résolution de chaque plaquette exposée pour une inspection détaillée des zones exposées. Le modèle intègre également un équipement de mesure laser intégré qui peut effectuer des mesures avant, pendant et après le processus lithographique. TEL Mark V8 supporte un certain nombre de matériaux photorésistants différents, y compris des photorésistes DUV, des photorésistes I-Line et des photorésistes à ultraviolet profond (DUV) de 248 nm. Ces matériaux sont appliqués aux plaquettes à l'aide d'un système automatisé de distribution de haute précision. Une fois que le matériau désiré a été appliqué, l'unité peut être configurée pour exécuter une variété de processus de lithographie différents, y compris l'impression de contact et de projection, la cuisson souple et dure, et la cuisson post-exposition. En outre, la machine est conçue pour fournir un excellent contrôle de l'environnement de l'air, réduire la contamination des particules, et fournir un environnement de vibration ultralow. Ceci est réalisé à l'aide d'un filtre à air haut de gamme et d'un outil avancé de contrôle du vide. Ce modèle nécessite une installation bien équipée et un personnel compétent pour fonctionner correctement, mais il est conçu pour réduire le temps et le travail en automatisant les fonctions de routine. L'équipement peut traiter jusqu'à 200 plaquettes par heure, ce qui permet des applications à haut volume. TOKYO ELECTRON Mark V8 est un système de photorésistance puissant et polyvalent, offrant les caractéristiques et la fonctionnalité nécessaires à la production en grand volume de circuits et de composants microélectroniques.
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