Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293591400 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz est un équipement photorésist entièrement automatisé conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs et de photomasques. Le système dispose d'une rotation robotique à cinq axes pour un contrôle plus rapide et plus précis du processus. Le robot est capable de tourner jusqu'à 1800 RPM, donnant à l'utilisateur plus de contrôle sur les besoins de traitement. L'unité dispose également d'une machine de vision automatisée intégrée, avec la technologie de suivi qui permet un placement plus précis des photomasques sur la surface de travail. L'outil de vision permet également à l'actif de détecter les paramètres de recette de processus, permettant un contrôle de processus plus rapide et plus précis. Le modèle TEL MARK-VZ est également doté d'un lecteur de spinner de haute précision, qui fournit des vitesses de dépôt cohérentes et même de photorésist. Ceci assure une épaisseur uniforme de la couche sur toute la plaquette. En plus de l'entraînement de pointe, l'équipement comprend également un pulvérisateur de précision, contrôlé par PLC. Ce système comprend une capacité intégrée d'analyse d'image, qui permet à l'unité d'ajuster les paramètres du processus à la volée. Cela garantit une plus grande précision et la cohérence du processus. La machine comprend également un certain nombre de systèmes de suivi, de rétroaction et de contrôle des processus. Cela inclut les indicateurs de température et de pression, qui fournissent une rétroaction pendant le processus. Il comprend également un moniteur de concentration, qui fournit une rétroaction sur la formulation de la résine photosensible. Enfin, l'outil TOKYO ELECTRON MARK V-Z comprend une interface utilisateur pour la mise en place et la surveillance des processus. Cette interface utilisateur est conçue pour un fonctionnement facile et permet une configuration et un suivi rapides des paramètres du processus. L'interface fournit également des informations détaillées sur les paramètres du processus, afin d'assurer des résultats précis et cohérents dans le temps.
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