Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9111395 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour graver, représenter et nettoyer efficacement les surfaces. Il fournit une solution complète pour le traitement des photorésistances avec des composants, des procédés et des logiciels de pointe. Le système dispose d'un contrôle de l'atmosphère deux en un, qui assure la cohérence et la précision avec le contrôle combiné du vide et du gaz d'azote pour des résultats optimaux d'imagerie, de gravure et de dépôt. La photorésist est un matériau spécial utilisé pour modeler les circuits intégrés. Il est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour appliquer un motif précis sur un substrat en silicium. L'unité est composée de plusieurs composants, dont une chambre de procédé et un ensemble de tête de douche, un réacteur avec unité de décharge, des cassettes de nanolaminate, un contrôle des gaz de procédé et un logiciel. Les systèmes offrent également la gravure humide HF et HCl pour les procédés de photorésistance, de gravure et de nettoyage. Le procédé de gravure HF élimine la résine photosensible du substrat de silicium et nettoie également le substrat pour le préparer aux étapes ultérieures. La gravure HCl est utilisée pour une gravure peu profonde, permettant un contrôle précis de la profondeur. La machine à cassettes photorésistantes a la capacité d'offrir des épaisseurs variables, et peut être utilisée pour graver de la faible profondeur à la profondeur, y compris la pré-gravure et la post-gravure. Il présente également une passivation unique qui améliore les performances de dispersion thermique lors du revêtement du substrat. Les gaz de procédé de l'outil sont régulés pour assurer des performances d'imagerie optimales, des processus de gravure et de dépôt, et la protection des substrats. L'actif dispose d'une variété de logiciels conviviaux de contrôle de processus, comme une unité de contrôle de processus avec une interface graphique utilisateur, et un Process Chamber Safety Monitor pour assurer un environnement de travail sûr. Le modèle permet également l'édition de recette à partir d'un terminal distant. Ces fonctionnalités permettent un réglage rapide et précis des paramètres de processus pour des résultats cohérents et précis. L'équipement de traitement de photorésist TEL MARK-VZ optimise la précision et réduit considérablement le temps de cycle pour les tâches de traitement de photorésist. Sa combinaison de composants, de processus et de logiciels efficaces en fait une solution idéale pour les applications d'imagerie de surface, de gravure et de nettoyage.