Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9142614 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour diverses applications telles que la photolithographie, le dépôt de couches minces et la planarisation. En tant que version actualisée du MARK.V, ce système photorésist reflète la combinaison de techniques sophistiquées d'ingénierie de processus basées sur l'expertise TEL et de nombreuses années d'expérience. Au cœur de la machine se trouve un contrôleur sophistiqué capable de gérer jusqu'à huit modules de traitement simultanément, permettant d'utiliser plusieurs recettes de processus en une seule fois. Il utilise en temps réel, le traitement et la surveillance de la topographie tridimensionnelle, avec un programmeur hors ligne basé sur DOS, permettant aux utilisateurs de programmer, surveiller et ajuster facilement les paramètres de traitement. TEL MARK-VZ est équipé d'un bras robotisé 7 axes avancé capable d'effectuer un mouvement précis de distribution, tout en assurant une automatisation fiable lors des processus de surenchère et de photorésistance les plus exigeants. En outre, il offre une gamme dynamique de paramètres de contrôle de mouvement, permettant aux utilisateurs de programmer avec précision les mouvements du robot pour chaque processus spécifique. La machine utilise également une source de lithographie de faisceaux d'électrons à double faisceau (EBL) (qui fonctionne à 50 KeV) pour garantir une résolution précise et une grande précision, et pour relever efficacement les défis de petites dimensions critiques et de largeurs de lignes plus fines sur les plaquettes. TOKYO ELECTRON MARK V-Z est également équipé d'une source d'ions pour les processus d'implantation, fournissant des mesures optimales du point final et une uniformité stricte de la couche de matériau. Enfin, les fonctions de mesure optique et de suivi de processus très précises offrent des taux de production et de défauts supérieurs. L'outil de pointe de métrologie multi-capteurs utilise des mesures optiques et électriques pour mesurer des caractéristiques critiques telles que l'épaisseur du film, résister à l'épaisseur, la taille du motif, la hauteur du pas et l'uniformité de surface. Le modèle intégré de métrologie ellipsométrique (EM) sans contact à quatre longueurs d'onde permet également une caractérisation et une validation efficaces des changements topographiques en cours de processus. En résumé, TOKYO ELECTRON MARK Vz offre un équipement photorésist puissant, automatisé et précis pour des applications de R&D et de production. Avec les bonnes compétences et l'expérience, ce système peut assurer des résultats fiables et précis dans une grande variété de processus, conduisant finalement à des rendements de produits améliorés.