Occasion TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148316 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz est un équipement de photorésistance de pointe développé pour soutenir divers procédés dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est conçu pour améliorer le contrôle des processus et l'uniformité des films pour une variété d'étapes de production, et supporte à la fois l'unité spin-coat traditionnelle et la nouvelle machine de lissage par faisceau laser auto-alignant. Le sous-outil spin-coat comprend une chambre de moteur électrostatique intégrée, un applicateur spin-coat et une buse de pulvérisation, ainsi qu'un outil de surveillance des plaquettes arrière en boucle fermée avec une capacité de contournage précise. Le modèle comprend également un équipement d'enlèvement des bourrelets pour l'enlèvement des bourrelets avant l'enrobage des plaquettes. Le système est capable de fournir des informations détaillées sur l'état et l'uniformité de chaque plaquette pendant le processus de spin-coat, ce qui permet une meilleure uniformité et un meilleur contrôle sur les hauteurs de pas des plaquettes. La sous-unité de lissage du faisceau laser utilise une paire de lasers auto-alignés de puissance super-élevée pour lisser la topographie de surface sur les plaquettes semi-conductrices. Cela permet de supprimer la non-uniformité et d'autres caractéristiques non spécifiées des plaquettes que les méthodes traditionnelles seraient incapables d'atteindre. La machine permet également de mesurer à grande vitesse l'épaisseur des plaquettes. TEL MARK-VZ est capable de traiter des plaquettes de 10 pouces et 12 pouces à des vitesses allant jusqu'à 4 microns/demi-cycle. Il peut atteindre un taux d'échantillonnage maximal de 200 encoches par heure, y compris des mesures de rugosité des bords de ligne. En outre, l'outil est compatible avec des installations de pointe telles que : chambres de gravure humide et sèche, réacteurs de traitement thermique rapide, fours à haute température, et bien plus encore. En conclusion, TOKYO ELECTRON MARK V-Z est un actif photorésistant avancé et fiable conçu pour soutenir divers processus dans l'industrie des semi-conducteurs. Il améliore le contrôle des processus et l'uniformité des processus de lissage de spin-coat et de faisceau laser, avec un contrôle pratique des paramètres importants tels que l'épaisseur des plaquettes et la rugosité des bords de ligne.