Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus 200 #9187451 à vendre en France
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Vendu
ID: 9187451
Taille de la plaquette: 6"-8”
Style Vintage: 2009
Electroplating system, 6"-8”
Cassette to cassette: Yes
Process: CU and AU
Tanks: No
Power Requirements: 120/208 V, 150.0 A, 50/60 Hz, 3 Phase
CE Marked
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus 200 Equipment est un système de photorésistance haute performance actuellement utilisé dans diverses applications industrielles, telles que la fabrication de semi-conducteurs et de panneaux plats. TEL Stratus 200 Unit se compose d'un chargeur de plaquettes sous vide, d'un robot de transfert de substrat, d'un manipulateur de plaquettes sous vide et d'un outil de lithographie, ainsi que de divers composants périphériques. Le chargeur de plaquettes sous vide est utilisé pour transporter les substrats et les maintenir dans un environnement de pression uniforme, en veillant à ce que les spécifications exigeantes soient respectées. Ce dispositif fonctionne sur un moteur pas à pas et peut être programmé pour tenir jusqu'à 50 plaquettes de 8 pouces. Le robot de transfert de substrat est utilisé pour prélever le substrat du chargeur et le transporter vers l'outil de lithographie. Ce robot a six degrés de liberté et est très précis et fiable grâce à sa machine à moteur à courant continu sans balai. Il est construit en acier inoxydable et a un design léger mais robuste. Le gestionnaire de plaquettes sous vide est un dispositif de vide utilisé pour maintenir jusqu'à 300 plaquettes de 8 pouces dans un environnement de pression uniforme. Cet appareil est construit en aluminium et utilise un outil de mesure propriétaire pour mesurer avec précision et cohérence les substrats. L'outil de lithographie est la composante principale de NEXX Stratus 200 Asset. Cet outil est conçu pour la nano-précision et dispose d'un modèle optique très précis et stable. Il utilise des systèmes d'imagerie avancés et des logiciels sophistiqués pour fournir des performances maximales pour une variété d'applications. De plus, il dispose d'un alignement de masque avancé et de techniques d'exposition contrôlables et automatisées. Stratus 200 Equipment est un système très fiable capable de répondre aux exigences de précision d'une variété d'industries. Ses composants sophistiqués, sa construction supérieure et sa combinaison d'imagerie avancée et de logiciels, en font l'une des meilleures solutions pour le traitement des résines photosensibles.
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