Occasion TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9302388 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300 est un équipement de lithographie de précision conçu pour produire des motifs photorésistants de haute qualité sur des substrats semi-conducteurs. Il offre un moyen efficace de créer des dispositifs microélectroniques complexes avec vitesse et précision. TEL Stratus S300 comprend une tête de lithographie multi-faisceaux et un moteur pas à pas à haute résolution en 4 points, ainsi qu'un étage de substrat de haute précision avec des capacités d'exposition multi-trous en option. Le système fournit une résolution de 0,18 micron à l'aide d'un faisceau laser excimère KrF, la longueur d'onde d'exposition étant réglée à 248nm. Une fonction d'auto-alignement unique garantit que toutes les opérations d'exposition sont alignées correctement. L'unité utilise un mécanisme de balayage multicouche pour garantir une grande précision et des débits de produits rapides. Il peut accueillir jusqu'à huit substrats d'une taille maximale de 8 po, avec une épaisseur maximale de substrat de 0,6 mm. La machine fournit une vitesse d'exposition ultra-rapide de 2,4sec/plan pour une surface carrée de 1.2mm. Il comprend également un gestionnaire de plaquettes performant qui alimente un substrat du chargeur de cassettes dans la bonne orientation et position. NEXX Stratus S300 combine une génération de motifs de haute précision avec une uniformité améliorée des motifs, une résolution d'image et des débits élevés. Il fournit également un outil avancé de contrôle des processus avec l'optimisation en temps réel des conditions d'exposition et des performances de la machine. L'atout peut réduire la non-uniformité des substrats et optimiser les paramètres d'exposition, garantissant un impact environnemental minimal, une excellente qualité d'imagerie et des résultats reproductibles sur de longues périodes. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Stratus S300 est un modèle de photorésist innovant et très précis qui peut produire des motifs de photorésist de haute qualité avec un minimum de fuss ou de déchets. Ses caractéristiques avancées en font un outil idéal pour produire des dispositifs microélectroniques complexes avec rapidité et précision.