Occasion TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9276948 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Four pour ACT 8 est un équipement photorésist à haute performance conçu pour contrôler avec précision les températures nécessaires pour un profilage photorésist optimal. Ce système fournit un transfert thermique ultra précis et cohérent qui élimine les températures élevées qui provoquent l'expansion et le délogement des particules photorésistantes dans le substrat. Ceci est obtenu par la chambre en quartz à double paroi recouverte de pyrolyse du four et l'unité de chauffage respective. Cette machine est constituée d'une chambre supérieure de quartz dans laquelle est maintenue la résine photosensible, la chambre inférieure de quartz contenant un outil de chauffage propriétaire au sous-sol. Les deux chambres individuelles sont reliées par des joints remplis de gaz, formant ainsi un environnement de chauffage étanche. Le matériel de chauffage au sous-sol transporte la chaleur dans la chambre à quartz via un élément de chauffage central. Un thermocouple à réponse ultra-rapide est installé pour mesurer les températures du processus en temps réel, permettant ainsi un temps de réaction rapide et un contrôle thermique précis. TEL PHP Four pour ACT 8 offre une plage de température comprise entre 50 et 300 ° C, qui est précisément contrôlée par un algorithme unique de convection à air forcé. Cet algorithme surveille la vitesse de changement de température à l'intérieur de la chambre à quartz et, si nécessaire, consolide le mouvement par l'utilisation d'un flux d'air. Cela garantit que la température à l'intérieur de la chambre à quartz non seulement atteint les niveaux requis rapidement, mais maintient également des températures avec une excellente précision et consistance. Le four contient également une série de systèmes de pointage thermique axés sur le laser et contrôlables individuellement. Les points de chaleur respectifs peuvent être utilisés pour isoler ou même augmenter la distribution de chaleur sur les substrats. Ce modèle peut également être utilisé pour créer une température de base avant tout processus chimique dans la chambre à quartz. Une autre caractéristique est la technologie d'autosurveillance unique de l'équipement, qui assure la sécurité du personnel et de l'équipement. Il le fait en détectant les surcharges de température et en répondant en coupant l'alimentation de chauffage. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON PHP Four pour ACT 8 fournit une grande précision et fiabilité grâce à ses contrôles de température ultra-précis et des mécanismes de convection à air forcé. Cela garantit que tout processus de photorésistance mené avec le système produira le meilleur résultat de qualité possible.