Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Systems #293774128 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Systems
ID: 293774128
Taille de la plaquette: 5"
5".
TEL/TOKYO ELECTRON Equipment, également connu sous le nom de photorésist TEL System, est un équipement critique utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. La fonction principale de cette unité TOKYO ELECTRON est de déposer une couche mince de matériau photorésistant sur la surface d'une plaquette semi-conductrice, ce qui joue un rôle crucial dans la définition du motif au cours du processus de photolithographie. Le procédé de photolithographie est une étape fondamentale de la fabrication de semi-conducteurs, où des motifs de circuits complexes sont transférés sur la surface d'une plaquette de silicium. Le matériau photorésist agit comme un revêtement sensible à la lumière qui subit un changement chimique lorsqu'il est exposé à la lumière UV. Cette modification des propriétés chimiques permet l'élimination sélective du matériau photorésistant, exposant les couches sous-jacentes de la plaquette à un traitement ultérieur. La machine se compose de plusieurs composants clés qui travaillent ensemble pour assurer le dépôt précis du matériau photorésist. Ces composants comprennent un enrouleur, une plaque chaude et une plaque réfrigérante. Le spin coater est chargé de distribuer la résine photosensible sur la surface de la plaquette et de la filer à une vitesse contrôlée pour obtenir une épaisseur de revêtement uniforme. La plaque chaude aide ensuite à cuire le matériau de la résine photosensible, à éliminer les solvants et à assurer une bonne adhérence à la surface de la plaquette. La plaque réfrigérante est utilisée pour refroidir la plaquette une fois le processus de cuisson terminé. Un des facteurs critiques du succès de la photorésist TEL/TOKYO ELECTRON Tool est l'uniformité de l'épaisseur du revêtement sur toute la surface de la plaquette. Toute variation d'épaisseur peut conduire à des défauts dans le motif final, affectant la performance globale et le rendement des dispositifs semi-conducteurs. TEL Asset est conçu avec des mécanismes de contrôle avancés pour assurer un contrôle précis du processus de dépôt, y compris la vitesse de rotation, le débit de distribution et le contrôle de la température. En plus du contrôle des dépôts, TOKYO ELECTRON Model offre également des fonctionnalités pour la surveillance et l'optimisation des processus. Des capteurs avancés et des systèmes de surveillance sont intégrés dans l'équipement afin de fournir une rétroaction en temps réel sur des paramètres clés tels que l'épaisseur du revêtement, l'uniformité et la résistance à l'adhérence. Ces données sont collectées et analysées pour apporter les ajustements nécessaires au processus de dépôt, garantissant des résultats cohérents et de grande qualité. En outre, Equipment est conçu pour être très fiable et efficace, capable de traiter un grand nombre de plaquettes en peu de temps. TEL/TOKYO ELECTRON System est également équipé de capacités d'automatisation pour minimiser l'intervention humaine et réduire le risque d'erreurs de l'opérateur. Globalement, TEL Unit joue un rôle critique dans le processus de fabrication des semi-conducteurs en permettant le dépôt précis de matériaux photorésistants sur des plaquettes semi-conductrices. Ses fonctionnalités et capacités avancées contribuent à la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec des circuits complexes, ce qui, en fin de compte, stimule l'innovation et les progrès technologiques dans l'industrie des semi-conducteurs.
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