Occasion ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102 #9124003 à vendre en France

ID: 9124003
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2000
UV curing oven, 6" UV lamp lamp intensity 25 mW/cm2 Wavelength: 254.7 nm Exposure time 35 sec 2000 vintage.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102 est un équipement de photorésistance conçu pour le développement de processus de lithographie en écriture directe et est couramment utilisé dans les applications de lithographie de précision. L'unité est un système photorésist intégré complet conçu pour produire des microstructures reproductibles à haute résolution sur des substrats ou des plaquettes. Il est capable de produire des caractéristiques structurelles précises et fortes et des motifs clairement définis dans la gamme de 1 μ m à 5 μ m de taille. L'unité est conçue pour optimiser la précision d'exposition, la stabilité et la linéarité, permettant la production de caractéristiques affirmatives avec des étapes de processus minimales. USI UH 102 utilise un processus de résistance en deux étapes ; la première étape est le dépôt thermique et l'immobilisation d'un matériau résineux, tandis que la deuxième étape est celle où la résine est post-traitée par une série d'étapes de développement. L'unité dispose d'une machine de chauffage précise, qui permet un dépôt uniforme du film et dispose d'un contrôleur numérique avec un affichage qui fournit une interface intuitive pour la sélection de la température. En outre, l'unité a une plage d'exposition allant jusqu'à 50mW/cm2 et jusqu'à une résolution de 0,1 μ m. L'outil dispose également d'un outil intégré de test de résolution spatiale, ainsi que d'un modèle de surveillance post-exposition pour une production de processus cohérente. Cet équipement est capable de détecter tout changement d'épaisseur du film au cours du processus de développement de la résistance en évaluant le contraste de surface du film. ULTRON SYSTEMS INC UH 102 est également équipé d'un système de métrologie de précision, permettant de mesurer de petites caractéristiques de l'ordre de 1 μ m à 5 μ m, tout en permettant de comprendre la micro-géométrie du substrat. L'UH 102 dispose d'une unité de revêtement automatique de résiste conçue pour fournir une épaisseur uniforme de film de résiste et d'une machine de développement automatisée de post-exposition qui peut être programmée de manière cohérente et précise. De plus, l'unité dispose d'un outil de distribution de résine photosensible de haute précision, facilement réglable et capable de fournir un débit de distribution uniforme. Dans l'ensemble, ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102 est un actif photorésist efficace et fiable, offrant un processus de lithographie de haute précision qui peut produire des motifs reproductibles à haute résolution avec le nombre minimal d'étapes de processus. Les nombreuses fonctionnalités du modèle, telles que le contrôleur numérique, les revêtements automatisés de résistance, le développeur post-exposition et l'équipement de métrologie, le rendent très applicable aux applications de lithographie de précision. USI UH 102 est un outil de lithographie fiable, précis et économique.
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