Occasion ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #293657345 à vendre en France
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ID: 293657345
Taille de la plaquette: 6"
Tape mounter, 6"
Vacuum-securing standard wafer stage: Up to 6" / 3"-6" multi-chuck
Spring-loaded roller assembly
Film tensioner
Uniform adhesion provides bubble-free lamination
Circular cutter (wheel-type) for cutting film on film frame
Adjustable cutting pressure for different film
Digital temperature controlled platen
Adjustable work stage height from top of unit
Operate with non-backed or backed film
Accommodates film/protective layer wound on the outside or inside
Adjustable alignment pin and vacuum cup
End cutter for film separation
Protective film take-up roller assembly for use with film with backing layer
Power supply: 115 VAC, 3 Amps, Single phase, 50/60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114 est un équipement de haute performance conçu pour répondre aux besoins des fabricants de puces, des fournisseurs de photorésist et des fonderies. Le système offre une qualité d'image et une uniformité supérieures, avec un contrôle précis des paramètres d'exposition et une uniformité de l'épaisseur de la couche de résistance. Il est équipé d'une technologie d'imagerie UV de pointe, couplée avec un étage triaxe unique pour un alignement de superposition précis. L'unité est conçue pour permettre des processus de photolithographie ultra haute résolution, avec une résolution allant jusqu'à 0,2 μ m. Il utilise l'imagerie LED haut de gamme, offrant une résolution de linéarité supérieure, avec une large gamme dynamique. La machine utilise la technologie Pre-BAW pour permettre une exposition plus rapide, une résolution plus rapide des artefacts d'image et un champ d'exposition plus grand que les systèmes traditionnels d'alignement de masque binaire. L'outil est également capable de supporter plusieurs recettes d'exploitation pour différentes tailles de plaquettes, permettant une flexibilité pour optimiser la qualité d'image et accélérer le débit. Son actif d'imagerie intégrée est capable de traiter des plaquettes de 8, 12, 16 et 18 pouces. Il est conçu pour un environnement de production à haut volume, avec un taux de défaillance très faible, et des temps d'alignement nettement plus courts. Le modèle offre une optimisation complète des processus pour la qualité de l'image, avec un alignement automatisé des bords, des coutures de plaquettes et une uniformité bord à bord. L'équipement offre également la flexibilité nécessaire pour s'adapter facilement aux nouvelles formulations photorésistantes et aux exigences de recette de processus, ce qui permet de prendre en charge différents dispositifs et technologies. Le système d'exposition donne d'excellents résultats sur les modèles IC difficiles, avec un excellent alignement et des chevauchements et minimise les erreurs de largeur des fonctionnalités. La conception ergonomique de l'unité permet un accès facile de l'opérateur et un réglage facile de la position et de la manipulation des plaquettes. Conçu pour des applications industrielles de la plus haute qualité, USI UH 114 est le choix idéal pour une amélioration rentable du rendement et des applications à valeur ajoutée. La machine fournit des performances de lithographie très fiables pour des applications telles que les appareils mobiles et haut de gamme à semi-conducteur IC, MEMS, et la production de masques photo.
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