Occasion VACOS VTS-1600 #293747676 à vendre en France

Fabricant
VACOS
Modèle
VTS-1600
ID: 293747676
Style Vintage: 2015
Thermal sputter AF coating system 2015 vintage.
VACOS VTS-1600 est un équipement de photorésistance sophistiqué conçu pour des procédés de photolithographie de haute précision dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications microélectroniques avancées. Cet outil de pointe allie précision, flexibilité et automatisation pour permettre la fixation efficace et précise de matériaux photorésistants sur des plaquettes de silicium et autres substrats. Avec des fonctionnalités de pointe et des capacités avancées, VTS-1600 offre aux utilisateurs un outil puissant pour produire des modèles et des structures complexes avec une résolution submicronique. Au cœur du système VACOS VTS-1600 se trouve un ensemble d'étages de précision qui assure un contrôle précis du positionnement et du déplacement du substrat lors des processus d'exposition et de développement. Cet ensemble d'étages est équipé de moteurs de haute précision, de codeurs et de contrôleurs qui permettent la précision et la répétabilité du positionnement submicronique, assurant des résultats de contrôle cohérents et fiables. L'unité dispose également de capacités d'alignement et d'enregistrement avancées, permettant aux utilisateurs de superposer avec précision plusieurs couches de motifs avec une grande précision. Une des composantes clés de machine VTS-1600 est le module d'exposition, qui utilise des sources de lumière de haute intensité telles que les lampes d'UV ou les lasers au dessin la matière photoopposer sur le substrate. L'outil est équipé d'optiques avancées, y compris des lentilles, des miroirs et des filtres, qui focalisent et dirigent la lumière sur le substrat avec une grande précision et uniformité. Cela garantit que la résine photosensible est exposée avec le motif, la résolution et la dose désirés, conduisant à des résultats de modélisation de haute qualité. Outre des capacités d'exposition précises, VACOS VTS-1600 offre également des capacités de développement et de traitement avancées. Le modèle comprend un module de développement dédié qui dispense et agite les solutions de développement pour retirer le matériau photorésist non exposé du substrat. Ce module est équipé d'un régulateur de température, d'un régulateur de débit et d'autres caractéristiques pour assurer un développement uniforme et un dénudage efficace de la résine photosensible. L'équipement peut également être configuré avec des modules de traitement supplémentaires pour la cuisson post-exposition, le rinçage et les étapes de séchage afin d'améliorer la qualité des structures décrites. VTS-1600 système est conçu pour une productivité et une efficacité élevées dans un environnement de production. L'unité est équipée de fonctionnalités d'automatisation avancées, y compris la manipulation robotique de substrat, le traitement basé sur des recettes, et les capacités de surveillance et de contrôle en temps réel. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de rationaliser le processus de fabrication, de minimiser les temps d'arrêt et de maximiser le débit, ce qui rend la machine idéale pour les applications de fabrication à haut volume. Dans l'ensemble, VACOS VTS-1600 est un outil de photorésistance polyvalent et fiable qui offre des fonctionnalités et des performances avancées pour des applications de photolithographie exigeantes. Avec sa précision, sa flexibilité et ses capacités d'automatisation, l'atout permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats de qualité avec une résolution et une uniformité submicroniques. Qu'il soit utilisé dans des environnements de recherche et développement ou de production, VTS-1600 est un outil précieux pour faire progresser la fabrication de semi-conducteurs et d'autres technologies microélectroniques.
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