Occasion VERTEQ 1600-2 #9169238 à vendre en France
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ID: 9169238
Dual stack spin rinser dryer
FLUROCARBON 1600 Super Clean
Parts machine.
L'équipement VERTEQ 1600-2 est un système de production de photorésist de pointe conçu pour créer des caractéristiques jusqu'à 0,2 µm tout en conservant une précision et une répétabilité élevées. Cette unité se compose d'une machine de livraison, d'un contrôleur et d'un module de revêtement photorésist et de procédé d'exposition. L'outil de délivrance comprend un robot de micropositionnement pour déplacer précisément une plaque de substrat montée sur broche. Les caractéristiques d'outillage permettent une large gamme de substrats et de tailles. Cela offre une grande précision et une faible latence avec des temps de charge et de déchargement de trois secondes. La broche utilise un pas standard pour accueillir une grande variété de substrats et de tailles de substrats pour la facilité d'utilisation du plug-n-play. Le contrôleur embarqué dispose d'un contrôleur logique programmable (PLC) qui s'intègre à l'interface de l'actif optique pour l'extraction, la livraison et l'emplacement automatisés. Grâce à cette interface, une conception universelle unique permet de prendre et d'enregistrer des mesures à partir de divers types de substrat, avec des caractéristiques et des données stockées dans une trace continue de données. Le PLC est programmé avec des bibliothèques de programmation distinctes pour contrôler le mouvement du robot, l'accélération et la décélération de la broche, et d'autres facteurs. Enfin, le module photorésist de pointe offre une excellente uniformité sur la zone active avec un algorithme spécial utilisé pour correspondre avec précision à la taille et au profil de forme du substrat. Ce module offre un excellent contrôle de l'épaisseur de la résine, permettant un contrôle précis de l'épaisseur de la résine sur une large gamme d'épaisseurs de couche de revêtement. Les capacités de haute précision et de reproduction sont atteintes grâce à l'utilisation de l'optique spécialisée et de la photomasque du module. Dans l'ensemble, le modèle photorésist 1600-2 est conçu pour le dépôt sous vide et résiste jusqu'à 0,2 µm de taille. Les PLC programmables et les équipements de livraison intelligents garantissent une précision et une répétabilité élevées. Une optique spéciale permet un contrôle précis de l'épaisseur de la résistance et une excellente uniformité sur la zone active. VERTEQ 1600-2 est un excellent choix pour les applications photorésistantes dans les industries des semi-conducteurs, de la microélectronique et de la biotechnologie.
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