Occasion VERTEQ 1600-55M #9123196 à vendre en France
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VERTEQ 1600-55M est un équipement de traitement de haute précision avec une vitesse de production allant jusqu'à 55 débuts de plaquettes par heure. Il est conçu pour la cuisson post-exposition (PEB) et les processus thermiques programmés dans deux armoires indépendantes. Le système se compose de deux armoires chauffantes qui peuvent être utilisées simultanément, permettant un débit de plaquettes amélioré et des températures de processus uniformes. Il est capable de traiter une grande variété de substrats et de matériaux tels que le silicium, le silicium polycristallin, le phosphure d'indium, l'arséniure de gallium et d'autres composés III-V. L'unité dispose de multiples options pour une exposition rapide et précise par pompage différentiel. Cela comprend une machine à mouvement X-Y pour un alignement précis des pièces, un chargeur programmable automatique de plaquettes, et un outil de scanner interne pour les aberrations de premier ordre et les points saillants. Un support de chargement manuel est également inclus pour permettre le contrôle de la recette échantillon par échantillon. L'actif est supporté par une interface utilisateur graphique intuitive (UI) pour assurer l'exactitude et la répétabilité des processus. Cela inclut les outils d'ajustement des paramètres et d'optimisation des recettes. Il peut être facilement intégré à d'autres systèmes tels que les stockeurs FOUP pour le chargement et le déchargement automatisés. 1600-55M offre également des capacités de diagnostic de processus avancées avec traçabilité intégrée des processus, y compris l'analyse de l'aberration de second ordre. Ceci est utile pour maintenir le contrôle de la qualité du processus. Le modèle comprend un ensemble de support à distance avec des messages diagnostiques e-mail pour améliorer le service à la clientèle. Il est également conçu pour la compatibilité avec la plupart des salles blanches, ce qui le rend idéal pour une grande variété d'applications. VERTEQ 1600-55M est un équipement de traitement de résines photosensibles fiable offrant un débit de plaquettes amélioré, une précision et une répétabilité sur une grande variété de substrats et de matériaux. Son interface graphique intuitive et ses capacités diagnostiques avancées en font un choix approprié pour les applications de production dans les industries de précision.
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