Occasion VERTEQ 1800-6AL #9255509 à vendre en France

Fabricant
VERTEQ
Modèle
1800-6AL
ID: 9255509
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" Does not include controller and cables 1997 vintage.
L'équipement de photorésistance VERTEQ 1800-6AL est un système PECVD de haute précision, automatisé et flexible utilisé dans la fabrication et le traitement de composants semi-conducteurs, optoélectroniques et biomédicaux. Avec l'utilisation d'une chambre de chauffage avancée au niveau du tube, l'unité permet un contrôle précis de la chimie photorésistante, des vitesses de dépôt et des performances globales de la machine. 1800-6AL outil utilise une variété de techniques de dépôt en phase vapeur pour déposer des couches minces conformes de photorésist avec une excellente uniformité de film et un contrôle d'épaisseur avec reproductibilité. Il fonctionne à partir d'un actif multipartite avec une source alternative, une pulvérisation magnétron et une chambre PECVD haute pression, permettant un fonctionnement optimisé pour le traitement des structures pelliculaires souhaitées. La source de courant alternatif est utilisée pour créer un champ électrique contrôlé par la tension dans la chambre de décharge pour exciter magnétiquement les gaz de processus à haute pression. Une source de pulvérisation magnétron de forte puissance est utilisée comme anode pour générer un flux contrôlé de gouttelettes vaporisées énergétiques de matériau photorésistant qui réagissent avec les gaz de procédé dans la chambre de réaction. La réaction des gaz de procédé dans le plasma décompose les gouttelettes en photorésist, en les déposant sur le substrat sous forme d'un film mince. Le modèle VERTEQ 1800-6AL est exceptionnellement facile à utiliser, avec un contrôleur dédié qui permet à l'utilisateur d'ajuster le débit, la pression et la température des gaz de procédé, ainsi que de surveiller le taux de dépôt pour l'épaisseur du film cible. La température du substrat peut également être contrôlée avec précision à l'aide de chauffages dédiés. Avec ces caractéristiques très avancées et configurables, l'équipement a la capacité de déposer avec précision et fiabilité des films photorésistants d'épaisseur constante, de granulométrie et d'uniformité avec un post-traitement minimal. 1800-6AL dispose également d'une commodité d'auto-nivellement, permettant à l'opérateur d'avoir des temps de basculement de substrat plus rapides et des temps d'exécution plus rapides entre les projets. Cette caractéristique est particulièrement utile pour les substrats photorésistants de plus grande taille, permettant le réglage automatisé du niveau et l'alignement du substrat de la plaque de dépôt, réduisant la manutention manuelle. Cela réduit considérablement le risque d'erreur humaine et simplifie le processus de production ; en fin de compte, permettre des débits plus rapides et une productivité accrue. En résumé, VERTEQ 1800-6AL est un système avancé de PECVD offrant un contrôle automatisé de haute précision des dépôts de résines photosensibles avec une excellente uniformité et précision du film. Avec sa fonction de réglage de niveau automatisé, la température du substrat surveillée et le contrôle de la pression et de la température de précision, l'unité est un outil robuste largement utilisé dans l'industrie de la fabrication et du traitement de dispositifs semi-conducteurs, optoélectroniques et biomédicaux.
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