Occasion VERTEQ 1800-6AR #9328733 à vendre en France

Fabricant
VERTEQ
Modèle
1800-6AR
ID: 9328733
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1800-6AR est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour les fabrications microélectroniques. Il s'agit d'un système photorésist modulaire, à haute résolution, à une étape, basé sur une table d'alignement composée d'un module mécanique, d'un module d'exposition et d'une table mobile. L'unité comprend une table d'alignement, un module pas à pas/scanner et un module d'alignement pas à pas/masque. La table d'alignement comporte un étage linéaire réglable en deux axes (X, Y) et a une précision de 1,4 µm. Le module pas à pas/scanner se compose d'un illuminateur télécentrique à pleine ouverture motorisé, d'une machine de mise au point automatique et d'un étage de plaquette motorisé. Le module d'alignement pas à pas/masque permet un recouvrement précis du masque sur la plaquette. L'outil est alimenté par une unité de contrôle avancée du microprocesseur qui est capable de contrôler tous les aspects du processus d'exposition, des contrôles d'alignement aux tailles de pixels et au temps d'exposition. L'actif dispose d'une chambre noire intégrée avec un modèle de contrôle de la puissance complète pour les processus de pré-exposition, post-exposition et de développement infrarouge. L'équipement dispose également d'un compteur de particules intégré pour mesurer la propreté de la chambre de travail UV ou I-line, ainsi que la surveillance de l'activité de nettoyage des particules. 1800-6AR fournit une résolution jusqu'à 12 µm, avec des tailles de fonctionnalités aussi petites que 2,0 microns. Le système fournit une bande passante d'accord (FW/BW) moins de 20 % sur toutes les fonctionnalités non critiques, et une haute résolution sur les fonctionnalités courtes. L'unité est conviviale et peut être exploitée dans des formats automatisés ou semi-automatisés, permettant un flux de travail efficace sans compromettre la précision. VERTEQ 1800-6AR est une machine de photorésistance fiable et performante, avec un excellent bilan dans les applications de fabrication microélectronique. Sa gamme dynamique, sa haute résolution, son interface facile à utiliser et son compteur intégré de particules en font un excellent choix pour tout laboratoire de microélectronique et tout environnement de production.
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